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GNP POLI-762是高通用性12英寸(300mm) CMP工藝而開發(fā),也為先進晶圓制造商和耗材供應商設計的。 GNP POLI-500廣泛用于耗材供應商,襯底制造商和芯片開發(fā)商的8“(200mm)高級研發(fā)評估。 GNP POLI-400L是專為先進的化學機械拋光工藝開發(fā)應用,如MEMS, as以及化學機械拋光特性研究。該系統(tǒng)擁有成本低,占地面積小。
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POLI-762是小型12英寸CMP機臺,采用手動裝片方式,可選配半自動loading托盤,氣囊薄膜柔性加壓,可配置摩擦力&溫度終點監(jiān)控系統(tǒng),用于氧化物、金屬、STI、SOI、MEMS等產(chǎn)品的平坦化拋光,應用廣泛。
POLI-500是小型8英寸CMP機臺,采用手動裝片方式,可選配半自動loading托盤,氣囊薄膜柔性加壓,可配置摩擦力&溫度終點監(jiān)控系統(tǒng),用于氧化物、金屬、STI、SOI、MEMS等產(chǎn)品的平坦化拋光,應用廣泛。如有需要半導體設備和進口半導體設備的朋友歡迎電話咨詢我們!