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簡(jiǎn)要描述:Kronos垂直梯度凝固法系統(tǒng),用以解決基本工藝問(wèn)題。該系統(tǒng)的高工作壓力意味著,即使其組分具有高蒸氣壓的材料也可以結(jié)晶。該系統(tǒng)可在10-40巴的壓力范圍內(nèi)用于不同化合物半導(dǎo)體的結(jié)晶。這種方法支持晶體的工業(yè)化生產(chǎn),例如砷化鎵(GaAs)的工業(yè)化生產(chǎn)可以通過(guò)在最大10巴壓力的標(biāo)準(zhǔn)版設(shè)備實(shí)現(xiàn),而磷化銦(InP)的生產(chǎn)可以在最大40巴壓力的標(biāo)準(zhǔn)版設(shè)備中實(shí)現(xiàn)。
產(chǎn)品分類(lèi)
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1. 產(chǎn)品概述:
垂直梯度凝固法系統(tǒng) Kronos 是 PVA TePla 公司推出的一種先進(jìn)材料制備設(shè)備。它主要利用垂直梯度凝固技術(shù),在特定的溫度和氣氛條件下,使材料從熔體中定向凝固生長(zhǎng),從而獲得高質(zhì)量、具有特定晶體結(jié)構(gòu)和性能的材料。
2. 設(shè)備應(yīng)用:
· 半導(dǎo)體材料領(lǐng)域:用于生長(zhǎng)半導(dǎo)體晶體,如硅、鍺等,這些晶體是制造集成電路、電子器件的基礎(chǔ)材料,所生長(zhǎng)的高質(zhì)量晶體可以提高半導(dǎo)體器件的性能和可靠性。
· 光電材料領(lǐng)域:可制備用于發(fā)光二極管(LED)、激光二極管等器件的材料,如砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等,有助于提升光電轉(zhuǎn)換效率和發(fā)光性能。
· 太陽(yáng)能電池領(lǐng)域:用于生產(chǎn)太陽(yáng)能電池用的硅基材料,通過(guò)精確控制晶體生長(zhǎng)過(guò)程,提高太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性。
3. 設(shè)備特點(diǎn):
· 高精度溫度控制:配備先進(jìn)的溫度控制系統(tǒng),能夠在整個(gè)生長(zhǎng)過(guò)程中精確控制溫度梯度,確保晶體生長(zhǎng)的穩(wěn)定性和均勻性,從而獲得高質(zhì)量的晶體材料。例如,在生長(zhǎng)硅晶體時(shí),可精確控制溫度在極小的范圍內(nèi)波動(dòng),保證硅晶體的結(jié)構(gòu)完整性和電學(xué)性能。
· 優(yōu)化的生長(zhǎng)氣氛:可以精確控制生長(zhǎng)環(huán)境中的氣體成分和壓力,為晶體生長(zhǎng)創(chuàng)造最佳的氣氛條件,有效減少雜質(zhì)和缺陷的形成。比如在生長(zhǎng)某些對(duì)氧含量敏感的晶體時(shí),能?chē)?yán)格控制氧氣的含量,防止晶體被氧化。
· 自動(dòng)化程度高:系統(tǒng)具備高度自動(dòng)化的操作流程,從材料裝填、生長(zhǎng)參數(shù)設(shè)置到生長(zhǎng)過(guò)程監(jiān)控和結(jié)束后的處理,都可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制,減少了人工干預(yù)帶來(lái)的誤差和不確定性,提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。
· 可定制化:能夠根據(jù)不同用戶的需求和特定材料的生長(zhǎng)要求,進(jìn)行定制化的設(shè)計(jì)和調(diào)整,滿足多樣化的科研和生產(chǎn)需求。例如,對(duì)于不同尺寸和形狀的晶體生長(zhǎng)需求,可調(diào)整設(shè)備的腔體結(jié)構(gòu)和相關(guān)部件
4. 產(chǎn)品參數(shù)(以部分為例):
材料:砷化鎵,磷化銦
坩堝直徑:4–6"
坩堝高度:高達(dá)450 mm
爐室直徑:800 mm
爐室高度:975 mm
工作壓力:大40 bar
尺寸規(guī)格
高度:2,900 mm
寬度:1,650 mm
深度:1,350 mm
設(shè)備總重量:3,500 kg
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