當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 其他前道工藝設(shè)備 > 10 其他 > FZ-14區(qū)熔晶體生長系統(tǒng)
簡要描述:FZ-14 區(qū)熔晶體生長系統(tǒng)是專為工業(yè)生產(chǎn)直徑達(dá)100毫米(4英寸)的單晶硅晶體而設(shè)計(jì)。根據(jù)源棒的尺寸,可以拉出長度達(dá)1. 1米的晶體。在這個(gè)過程中,晶體的直徑和液體區(qū)的高度可以通過攝像系統(tǒng)來監(jiān)測。并且該系統(tǒng)的上部主軸和線圈都是自動定位的。該系統(tǒng)采用無接觸熔化工藝,通過使用渦輪分子泵和超純氬氣作為工藝氣體,產(chǎn)生高極限真空環(huán)境,有效地防止了工藝過程中的污染,同時(shí)還能將氮?dú)庖允芸氐姆绞揭牍に嚑t體。
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產(chǎn)品數(shù)據(jù)概覽:
材料:硅
晶體
晶體 1,100 mm
晶體拉動長度: 長達(dá)100 mm (4″)
晶體直徑: 2.5 x 10-5 mbar
極限真空度: 0.5 bar(g)
發(fā)電機(jī)
輸出電壓: 30 kW
頻率: 2.4 MHz
上軸
進(jìn)料速度: 最高30 mm/min
上部旋轉(zhuǎn): 最高35 rpm
下軸
拉動速度: 最高 30 mm/min
下部旋轉(zhuǎn): 最高 30 rpm
尺寸規(guī)格
高度 6,280 mm
寬度: 2,750 mm
深度: 3,000 mm
重量(總): 約 4,900 kg
區(qū)熔(FZ)技術(shù)作為提純方法為生產(chǎn)高電阻率的超純硅單晶提供了技術(shù)可行性,該技術(shù)可應(yīng)用于高性能電子和半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。其另一優(yōu)點(diǎn)是可以從氣相中連續(xù)摻入,這使得在整個(gè)晶體的電阻率沿長度方向保持一致。因此,幾乎可以在整個(gè)晶體上均勻地實(shí)現(xiàn)所需的電性能。由于電荷載流子的高壽命和極低的氧含量(無坩堝工藝),FZ晶體同樣也適用于光伏行業(yè)。
區(qū)熔(FZ)技術(shù)作為提純方法與CZ直拉工藝等競爭方法相比,FZ工藝的優(yōu)勢在于只有緊鄰感應(yīng)線圈的一小部分晶體需要被熔化,無需使用石英坩堝(每爐次耗用一個(gè)),可實(shí)現(xiàn)高拉速,因此降低了耗材成本的同時(shí)也降低了能源成本。此外,無論是從硅還是其他合適的材料中提取的晶體,可以通過多次處理,顯著地提高純度。
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