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簡要描述:CGS-Lab單晶爐是PVA產(chǎn)品線中最小的直拉法晶體生長系統(tǒng),專門為研究所和實驗室設(shè)計。10 英寸熱系統(tǒng)的設(shè)計用于最多 5 公斤的加料量和生長直徑為 100 毫米、長度為 300 毫米的硅錠。設(shè)備開爐狀態(tài)時高度為3.4米,對安裝場地的高度要求相當?shù)汀>w提升速度和旋轉(zhuǎn)速度適用于生產(chǎn)特定尺寸的晶棒。
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借助用于直徑測量的相機系統(tǒng)和用于溫度測量的兩個高溫計,通過 PLC(可編程邏輯控制器)和 PC 的控制實現(xiàn)自動拉晶工藝。提供適合工廠需求的真空泵和除塵器 (SiO) 系統(tǒng)。
產(chǎn)品數(shù)據(jù)概覽:
最大晶棒直徑: 4英寸
晶棒長度: 最長300 毫米
裝料容量: 高達5公斤
熱場: 10英寸
該晶體生長系統(tǒng)作為半導(dǎo)體行業(yè)的重要組成部分具有以下特點:
精確性:通過精密儀器制造的驅(qū)動單元夠?qū)崿F(xiàn)可重復(fù)的工藝控制并生產(chǎn)出最佳品質(zhì)的晶體。
堅固性:爐體部件由高質(zhì)量的不銹鋼制成,其內(nèi)表面經(jīng)過高精度拋光,以便達到耐用性和潔凈等級方面的最高要求。
安全性:高度的自動化和額為增設(shè)的安全系統(tǒng)可以確保在先進的生產(chǎn)環(huán)境中使用。
定制化:憑借多年的開發(fā)經(jīng)驗、專業(yè)知識以及提供多種部件更換和組合方式,PVA晶體生長系統(tǒng)根據(jù)不同客戶的特定需求提供最佳解決方案。
支持與服務(wù):您可以通過直接聯(lián)系PVA晶體生長系統(tǒng)專家進行“點對點"的溝通,獲得系統(tǒng)的備件服務(wù)以及系統(tǒng)的調(diào)整和優(yōu)化服務(wù)。
偶然將籽晶意外浸入熔融錫中,無意間發(fā)現(xiàn)了目前微電子領(lǐng)域中最重要的晶體生長工藝,該工藝是實現(xiàn)工業(yè)、科學(xué)和社會的快速數(shù)字化轉(zhuǎn)型的基礎(chǔ)。柴可拉斯基法(直拉法)以揚·柴可拉斯基的名字來命名,該技術(shù)為工業(yè)化生產(chǎn)而開發(fā),目前用于生產(chǎn)直徑達300毫米、重量為500公斤的硅晶體。為此,當溫度達到大約1410℃時,高純硅作為半導(dǎo)體材料會在石英坩堝中熔化,并通過控制程序,按照工藝要求將單晶硅錠從熔體中拉出。
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