簡要描述:直拉法晶體生長系統(tǒng)SC 24單晶爐專為單晶硅晶體(硅錠)的工業(yè)生產而研發(fā)。該系統(tǒng)的模塊化設計理念可根據客戶的需求而進行靈活的調整。低能耗優(yōu)化設計的24英寸熱系統(tǒng)(熱場)可以實現(xiàn)160公斤填料(無需加料器),生產直徑 230 毫米 (9英寸) 的晶體。根據直徑和裝載量的不同,該設備可拉制的晶體最大長度為 2.9 米。拉晶速度最大可達到10毫米/分鐘,晶轉和堝轉的轉速高達35轉/分鐘。
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借助用于直徑測量的攝像系統(tǒng)和用于溫度測量的兩個高溫計,通過 PLC(可編程邏輯控制器)和 PC 的控制實現(xiàn)自動拉晶工藝。用于工藝控制和監(jiān)控的圖文控制界面操作簡單友好,并針對大規(guī)模生產進行了優(yōu)化。
產品數據概覽 :
最大晶棒直徑: 最長230 毫米
晶棒長度: 最長2,900 毫米
裝料容量: 160公斤-220公斤
熱場: 24英寸
該晶體生長系統(tǒng)作為半導體行業(yè)的重要組成部分具有以下特點:
精確性:通過精密儀器制造的驅動單元夠實現(xiàn)可重復的工藝控制并生產出最佳品質的晶體。
堅固性:爐體部件由高質量的不銹鋼制成,其內表面經過高精度拋光,以便達到耐用性和潔凈等級方面的最高要求。
安全性:高度的自動化和額為增設的安全系統(tǒng)可以確保在先進的生產環(huán)境中使用。
定制化:憑借多年的開發(fā)經驗、專業(yè)知識以及提供多種部件更換和組合方式,PVA晶體生長系統(tǒng)根據不同客戶的特定需求提供最佳解決方案。
支持與服務:您可以通過直接聯(lián)系PVA晶體生長系統(tǒng)專家進行“點對點"的溝通,獲得系統(tǒng)的備件服務以及系統(tǒng)的調整和優(yōu)化服務。
偶然將籽晶意外浸入熔融錫中,無意間發(fā)現(xiàn)了目前微電子領域中最重要的晶體生長工藝,該工藝是實現(xiàn)工業(yè)、科學和社會的快速數字化轉型的基礎。柴可拉斯基法(直拉法)以揚·柴可拉斯基的名字來命名,該技術為工業(yè)化生產而開發(fā),目前用于生產直徑達300毫米、重量為500公斤的硅晶體。為此,當溫度達到大約1410℃時,高純硅作為半導體材料會在石英坩堝中熔化,并通過控制程序,按照工藝要求將單晶硅錠從熔體中拉出。
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