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簡要描述:半自動單軸減薄機是一款操作簡單、功能豐富、性價比高的高精度研削設(shè)備,采用手動裝片方式,配置自動厚度測量和補償系統(tǒng),可自動研削至目標(biāo)值。工作臺可根據(jù)客戶需求進行定制化,應(yīng)用廣泛。全自動減薄機是配有全自動上、下片系統(tǒng)的高精度研削設(shè)備,采用晶圓機械手取片,帶有自動對中、清洗、干燥功能,可實現(xiàn)盒到盒、干進干出的全自動減薄拋光研削加工。
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1 產(chǎn)品概述:
半自動雙軸減薄機是一款高精度研削設(shè)備,它安裝了兩個砂輪軸,以提供更為靈活和高效的研削能力。該設(shè)備通過手動裝片方式操作,并配備了自動厚度測量和補償系統(tǒng),確保研削過程中的精度和一致性。半自動雙軸減薄機的工作臺可根據(jù)客戶需求進行定制化設(shè)計,以滿足不同尺寸和材料的加工需求。
2 設(shè)備用途:
半自動雙軸減薄機主要用于半導(dǎo)體制造、硅片加工、光學(xué)材料處理及薄膜材料制備等領(lǐng)域。其主要用途包括:
半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體晶圓的制造過程中,對晶圓進行精確減薄,以滿足后續(xù)工藝對晶圓厚度的嚴(yán)格要求。
硅片加工:對硅片進行高精度研削,調(diào)整硅片厚度,提高硅片的質(zhì)量和加工效率。
光學(xué)材料處理:在光學(xué)元件的制備過程中,對光學(xué)材料進行精確減薄,以滿足光學(xué)元件對材料厚度和表面粗糙度的特殊要求。
薄膜材料制備:在薄膜材料的制備過程中,半自動雙軸減薄機可用于對薄膜進行精確控制厚度的研削加工。
3. 設(shè)備特點
半自動雙軸減薄機具有以下幾個顯著特點:
高精度:采用先進的研削技術(shù)和精密的控制系統(tǒng),確保研削過程的高精度和一致性。厚度在線測量重復(fù)精度可達±0.001 mm,滿足高精度加工需求。
雙軸研削單元:配備兩個砂輪軸,能夠同時進行粗磨和精磨操作,提高加工效率,并減少工件在不同工序間的轉(zhuǎn)移時間。
自動厚度測量和補償系統(tǒng):實時測量工件厚度,并根據(jù)測量結(jié)果自動調(diào)整研削量,確保研削后的工件厚度達到預(yù)定目標(biāo)值。
定制化工作臺:工作臺可根據(jù)客戶需求進行定制化設(shè)計,以適應(yīng)不同尺寸和材料的加工需求,提高設(shè)備的靈活性和適用性。
綜上所述,半自動雙軸減薄機以其高精度、雙軸研削單元、自動厚度測量和補償系統(tǒng)、定制化工作臺、操作靈活以及良好的兼容性等特點,在半導(dǎo)體制造、硅片加工、光學(xué)材料處理及薄膜材料制備等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。
4 設(shè)備參數(shù):
項目 | IVG-2020 | IVG-3020 |
大晶圓尺寸 | 8 英寸 | 12 英寸 |
砂輪規(guī)格 | ?203(OD)mm | ?303(OD)mm |
砂輪軸功率 | 6.0kW | 9.5kW |
砂輪軸轉(zhuǎn)速范圍 | 0~6000 RPM | 0~4000 RPM |
工作臺轉(zhuǎn)速 | 0~380 RPM | 0~380 RPM |
Z軸進給速度 | 0.1~1000 um /sec | 0.1~1000 um /sec |
厚度在線測量范圍(OMM) | 0-4800um | 0-4800um |
厚度在線測量重復(fù)精度 | ±0.001 mm | ±0.001 mm |
NCG非接觸實時測厚系統(tǒng) | 可選配 | 可選配 |
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