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簡要描述:全自動(dòng)減薄機(jī)是一款功能全面,兼容性好,配置豐富,全自動(dòng)系統(tǒng)的高精度研磨設(shè)備,全自動(dòng)上下片,干進(jìn)干出的全自動(dòng)研削系統(tǒng);自動(dòng)厚度測量 多段研削程序 超負(fù)載等待;可磨削各類半導(dǎo)體材料 兼容6&8英寸晶圓減??;雙軸研削單元 三工作臺加工。
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1 產(chǎn)品概述:
全自動(dòng)減薄機(jī)是一種用于信息科學(xué)與系統(tǒng)科學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器,尤其在半導(dǎo)體制造過程中扮演著至關(guān)重要的角色。它采用先進(jìn)的技術(shù)和設(shè)計(jì),能夠高效、精準(zhǔn)地將晶圓或其他材料的厚度減薄到范圍內(nèi),為后續(xù)的制造工序提供高質(zhì)量的基材。
2 設(shè)備用途:
全自動(dòng)減薄機(jī)主要用于半導(dǎo)體制造、微電子、光學(xué)制造等領(lǐng)域。具體而言,其主要用途包括:
1、 晶圓減?。涸诎雽?dǎo)體制造過程中,將晶圓厚度減薄至特定尺寸,以滿足芯片封裝和性能要求。減薄后的晶圓更有利于后續(xù)的封裝工藝,同時(shí)能提高芯片的散熱效果。
2、 材料加工:除了晶圓外,全自動(dòng)減薄機(jī)還可用于硅片、光學(xué)材料等厚材料的加工,通過調(diào)整工作參數(shù)實(shí)現(xiàn)不同厚度和形狀的加工,提高材料的加工質(zhì)量和效率。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
全自動(dòng)減薄機(jī)具有多個(gè)顯著特點(diǎn),這些特點(diǎn)共同構(gòu)成了其高效、精準(zhǔn)和可靠的性能:
1、高精度控制:采用先進(jìn)的位置傳感器和伺服系統(tǒng),確保在減薄過程中能夠精確控制晶圓或其他材料的位置和厚度。這種高精度控制有助于減少加工誤差,提高產(chǎn)品質(zhì)量。
2、超高速研磨:配備超高速研磨系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)快速磨削和精確厚度控制。這不僅提高了生產(chǎn)效率,還確保了加工過程的穩(wěn)定性和一致性。
3、智能化操作:配備智能操作系統(tǒng),支持自動(dòng)化操作,降低了對人工操作的依賴。用戶可以通過預(yù)設(shè)程序或界面進(jìn)行參數(shù)設(shè)置和監(jiān)控,實(shí)現(xiàn)高效、便捷的加工過程。
4、環(huán)保工藝:采用環(huán)保工藝和材料,減少有害物質(zhì)排放,確保生產(chǎn)過程的安全和環(huán)保。這符合現(xiàn)代制造業(yè)對可持續(xù)發(fā)展的要求。
綜上所述,全自動(dòng)減薄機(jī)以其高精度控制、超高速研磨、智能化操作、環(huán)保工藝、多功能性和高穩(wěn)定性等特點(diǎn),在半導(dǎo)體制造和其他材料加工領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。
4 設(shè)備參數(shù):
項(xiàng)目 | TFG-3200 |
大晶圓尺寸 | 8 英寸 |
砂輪規(guī)格 | ?303(OD)mm |
砂輪軸數(shù)量 | 2個(gè) |
砂輪軸功率 | 9.5kW |
砂輪軸轉(zhuǎn)速范圍 | 0~4000 RPM |
工作臺轉(zhuǎn)速 | 0~300 RPM |
工作臺移動(dòng)方式 | Index轉(zhuǎn)位式 |
Z軸進(jìn)給速度 | 0.1~1000 um /sec |
厚度在線測量方式 | IPG,實(shí)時(shí)測厚 |
厚度在線測量范圍(IPG) | 0-1800um |
NCG非接觸實(shí)時(shí)測厚系統(tǒng) | 可選配 |
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