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簡要描述:自動(dòng)氦檢漏設(shè)備ALT·S系列(SUPER ALT)使用He作為檢知?dú)怏w的設(shè)備。應(yīng)用ULVAC技術(shù),運(yùn)用全新機(jī)構(gòu),使得省空間、高速、全自動(dòng)處理成為可能。
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1 產(chǎn)品概述:
自動(dòng)氦檢漏設(shè)備,特別是氦質(zhì)譜檢漏儀,是一種高精度、高靈敏度的氣體泄漏檢測設(shè)備。它利用氦氣作為示蹤氣體,通過質(zhì)譜儀分析技術(shù),能夠迅速定位并測量封閉設(shè)備或系統(tǒng)中的微小泄漏。這類設(shè)備廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域,如半導(dǎo)體制造、航空航天、制冷空調(diào)、汽車制造、真空技術(shù)、核工業(yè)以及醫(yī)療設(shè)備等,確保產(chǎn)品和系統(tǒng)的密封性能達(dá)到要求。
2 設(shè)備用途:
半導(dǎo)體制造:用于檢測封裝、真空腔體、氣路系統(tǒng)等是否存在漏氣,確保產(chǎn)品質(zhì)量。
航空航天:檢測航天器和火箭的燃料系統(tǒng)、生命支持系統(tǒng)、熱控系統(tǒng)等關(guān)鍵部位的微小泄漏,保障飛行安全。
制冷空調(diào):檢測蒸發(fā)器、冷凝器、管路等部件的漏氣問題,提高系統(tǒng)性能。
汽車制造:檢測空調(diào)系統(tǒng)、燃油系統(tǒng)、制動(dòng)系統(tǒng)等關(guān)鍵系統(tǒng)的泄漏,確保汽車的安全性和可靠性
3 設(shè)備特點(diǎn)
高靈敏度:自動(dòng)氦檢漏設(shè)備能夠快速發(fā)現(xiàn)和定位極小的泄漏點(diǎn),甚至能檢測到極低濃度的氦氣,這是其最為突出的特點(diǎn)之一。
高精度:通過精確的質(zhì)譜分析技術(shù),設(shè)備能夠準(zhǔn)確測量氦氣的濃度,從而精確定位泄漏點(diǎn),提高檢測的準(zhǔn)確性。
檢測范圍廣:適用于多種設(shè)備和系統(tǒng)的泄漏檢測,包括但不限于上述提到的領(lǐng)域。
4 技術(shù)參數(shù)和特點(diǎn):
• 測試臺(tái)上采用了旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),使得工件裝卸作業(yè)時(shí)間減半。
• 由于He氣體封入工藝和檢漏工藝分別在不同的地方進(jìn)行,可以大幅縮短處理時(shí)間。
• 搭載He檢漏儀【HELIOT-ZERO】,可確認(rèn)真空排氣中從檢查品漏出的He氣體。
• 因?yàn)榭筛咚偬幚?,可減少測試腔體數(shù),節(jié)省空間。
• 可減少一個(gè)腔體,作業(yè)位置無需移動(dòng),提高作業(yè)效率。
• 設(shè)備模塊化,現(xiàn)地安裝時(shí)間可以縮短。
• 由于泵可從設(shè)備本體中單獨(dú)取出的構(gòu)造,方便進(jìn)行修理。
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