當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備 > 2 PVD > SATELLA, ZELDA系列有機(jī)EL成膜設(shè)備SOLCIET
簡要描述:有機(jī)EL成膜設(shè)備SOLCIET, SATELLA, ZELDA系列。ULVAC面向有機(jī)EL材料開發(fā)提供實(shí)驗(yàn)用設(shè)備系統(tǒng)到量產(chǎn)Cluster系統(tǒng)設(shè)備和Inline系統(tǒng)設(shè)備。
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1 產(chǎn)品概述:
有機(jī)EL成膜設(shè)備SOLCIET是一款專為有機(jī)電致發(fā)光(Organic Electroluminescence, OLED)技術(shù)設(shè)計(jì)的先進(jìn)制造設(shè)備。該設(shè)備由多個(gè)獨(dú)立的腔室構(gòu)成,包括前室、有機(jī)鍍膜室、電極鍍膜室、中間室和glove box等,形成了一個(gè)從材料評(píng)價(jià)到產(chǎn)品特性評(píng)價(jià)的完整實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)。SOLCIET設(shè)備提供了豐富的選項(xiàng),如濺射陰極和各種蒸發(fā)源,以擴(kuò)大實(shí)驗(yàn)用途的范圍,并滿足不同研究和生產(chǎn)的需求。其基板尺寸標(biāo)準(zhǔn)通常為100mm,確保了與多種基板的兼容性。
2 設(shè)備用途:
有機(jī)EL成膜設(shè)備SOLCIET主要用于有機(jī)電致發(fā)光(OLED)顯示屏和照明產(chǎn)品的制造過程中。具體來說,它可以在高真空環(huán)境下,通過物理或化學(xué)方法將有機(jī)材料均勻地沉積在基板表面,形成有機(jī)發(fā)光層和其他功能層。這些層是OLED器件的核心部分,對(duì)器件的性能和壽命有著至關(guān)重要的影響。因此,SOLCIET設(shè)備在OLED技術(shù)的研發(fā)、生產(chǎn)和質(zhì)量控制中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。
3 設(shè)備特點(diǎn)
多腔室設(shè)計(jì):SOLCIET設(shè)備采用多腔室設(shè)計(jì),每個(gè)腔室都獨(dú)立控制,可以有效避免不同工藝步驟之間的交叉污染,提高產(chǎn)品質(zhì)量。
高精度控制:設(shè)備配備了高精度的控制系統(tǒng),可以精確控制鍍膜速度、厚度和均勻性等關(guān)鍵參數(shù),確保有機(jī)發(fā)光層的質(zhì)量和性能。
豐富的選項(xiàng):提供了多種濺射陰極和蒸發(fā)源選項(xiàng),用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的配置,以滿足不同材料和工藝的要求。
高兼容性:基板尺寸標(biāo)準(zhǔn)統(tǒng)一,與多種基板兼容,方便用戶在不同項(xiàng)目和研究中靈活切換。
4 技術(shù)參數(shù)和特點(diǎn):
SOLCIET有室、有機(jī)鍍膜室、電鍍膜室、中間室和glove box獨(dú)立的腔室構(gòu)成、可以進(jìn)行從材料評(píng)價(jià)到產(chǎn)品特性評(píng)價(jià)的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)。我們還提供豐富的選項(xiàng),如濺射陰和各種蒸發(fā)源,以擴(kuò)大實(shí)驗(yàn)用途的范圍。對(duì)應(yīng)的基板尺寸標(biāo)準(zhǔn)是100mm。SATELLA采用獨(dú)立的工藝室制造多腔室樣式,可以進(jìn)行SOLCIET難以進(jìn)行的全色產(chǎn)品評(píng)估。它有一個(gè)8角形傳輸室,可根據(jù)實(shí)際需求容納2到4個(gè)有機(jī)沉積室。此外,它配備了高精度的掩模對(duì)準(zhǔn)機(jī)制,并支持有源矩陣全彩設(shè)備(active matrix full-color device)。對(duì)應(yīng)的電路板尺寸的標(biāo)準(zhǔn)是200 mm。ZELDA系列是批量生產(chǎn)兼容系統(tǒng)。我們有豐富的應(yīng)用,包括新開發(fā)的蒸發(fā)源。可以對(duì)應(yīng)的電路板尺寸是G2或更大。
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