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簡(jiǎn)要描述:設(shè)備介紹:硅芯清洗機(jī)本設(shè)備為柜體式腐蝕機(jī),整臺(tái)設(shè)備均采用進(jìn)口件.基本材質(zhì):箱體材質(zhì):德國(guó)茲白色聚丙烯(PP) 門(mén)板材質(zhì):德國(guó)透明聚氯乙烯(PVC)腐蝕槽材質(zhì):德國(guó)自然色聚偏二佛乙烯(PVDF)清洗槽材質(zhì):德國(guó)自然色聚丙烯板(NPP)腐蝕槽配有美國(guó)聚四佛乙烯加熱器,虹吸上排,傳感器清洗槽配有溢流裝置和N2鼓泡裝置整機(jī)外形美觀,實(shí)用
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1. 產(chǎn)品概述:
英思特硅芯清洗機(jī)是專(zhuān)門(mén)用于硅芯清洗的設(shè)備,通過(guò)一系列特定的清洗工藝和技術(shù),有效去除硅芯表面的雜質(zhì)、污垢、氧化物等,以達(dá)到硅芯在半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域應(yīng)用所需的高潔凈度要求。它通常由清洗槽、漂洗槽、干燥系統(tǒng)、傳輸系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等部分組成,各部分協(xié)同工作,實(shí)現(xiàn)對(duì)硅芯的自動(dòng)化清洗流程。
2. 設(shè)備應(yīng)用:
· 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè):在半導(dǎo)體芯片制造中,硅芯是重要的基礎(chǔ)材料。硅芯清洗機(jī)用于清洗硅芯,為后續(xù)的外延生長(zhǎng)、摻雜等工藝提供潔凈的硅芯表面,確保芯片的質(zhì)量和性能。例如,在制造高純度的半導(dǎo)體器件時(shí),硅芯表面的潔凈度直接影響到器件的電學(xué)性能和可靠性。
· 光伏產(chǎn)業(yè):用于光伏電池生產(chǎn)中硅芯的清洗,提高硅芯的表面質(zhì)量,從而提升光伏電池的轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性。
3. 設(shè)備特點(diǎn):
1.產(chǎn)品用途:適用于2"~8"硅芯清洗
2.設(shè)備介紹:本設(shè)備為柜體式腐蝕機(jī),整臺(tái)設(shè)備均采用進(jìn)口件.
基本材質(zhì):箱體材質(zhì):德國(guó)茲白色聚丙烯(PP)
門(mén)板材質(zhì):德國(guó)透明聚氯乙烯(PVC)
腐蝕槽材質(zhì):德國(guó)自然色聚偏二佛乙烯(PVDF)
清洗槽材質(zhì):德國(guó)自然色聚丙烯板(NPP)
腐蝕槽配有美國(guó)聚四佛乙烯加熱器,虹吸上排,傳感器
清洗槽配有溢流裝置和N2鼓泡裝置
整機(jī)外形美觀,實(shí)用
3.設(shè)備外形尺寸:2000X1000X1800(mm)
4.設(shè)備重量:8000Kg(約)
5,設(shè)備控制方式: PLC結(jié)合操作觸摸屏控制
6.設(shè)備動(dòng)力條件:電源:380VAC+-10%頻率 50HZ+-10%,三相五線制
整機(jī)額定電功率(參考):20KW
電氣性能:E級(jí),并有良好的接地
水工:壓力2-3KG/CM3,流量2m3/hr 口徑DN25
DIW:壓力2-3KG/CM3 流量2m3/hr(max),電阻率15MDN25
氣源壓縮空氣:0.3~0.5MPa,口徑3/8"(配有水分離器)
排廢:DN50
排廢酸:DN40
排風(fēng):DN200
環(huán)境要求:空氣溫度5-40°C;相對(duì)濕度:80
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