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簡(jiǎn)要描述:全自動(dòng)單軸減薄機(jī)是一款高精度、高效率的研削設(shè)備,專為半導(dǎo)體制造、硅片加工、光學(xué)材料處理及薄膜材料制備等領(lǐng)域設(shè)計(jì)。
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1 產(chǎn)品概述:
全自動(dòng)單軸減薄機(jī)是一款高精度、高效率的研削設(shè)備,專為半導(dǎo)體制造、硅片加工、光學(xué)材料處理及薄膜材料制備等領(lǐng)域設(shè)計(jì)。該設(shè)備集成了全自動(dòng)上、下片系統(tǒng),采用先進(jìn)的晶圓機(jī)械手取片技術(shù),結(jié)合自動(dòng)對(duì)中、清洗、干燥功能,實(shí)現(xiàn)了從盒到盒、干進(jìn)干出的全自動(dòng)減薄拋光研削加工流程。全自動(dòng)單軸減薄機(jī)以其性能和廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,在現(xiàn)代精密制造領(lǐng)域中占據(jù)重要地位。
2 設(shè)備用途:
全自動(dòng)單軸減薄機(jī)的主要用途包括:
半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,對(duì)晶圓進(jìn)行精確減薄,以滿足后續(xù)工藝對(duì)晶圓厚度的嚴(yán)格要求。
硅片加工:對(duì)硅片進(jìn)行高精度研削,調(diào)整硅片厚度,提高硅片的質(zhì)量和加工效率。
光學(xué)材料處理:在光學(xué)材料制備過程中,對(duì)材料進(jìn)行精確減薄,以滿足光學(xué)元件對(duì)材料厚度和表面粗糙度的特殊要求。
薄膜材料制備:在薄膜材料制備領(lǐng)域,全自動(dòng)單軸減薄機(jī)可用于對(duì)薄膜進(jìn)行精確控制厚度的研削加工。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
全自動(dòng)單軸減薄機(jī)具有以下顯著特點(diǎn):
高精度:采用先進(jìn)的研磨技術(shù)和精密的控制系統(tǒng),確保減薄加工的高精度和一致性。厚度在線測(cè)量重復(fù)精度可達(dá)±0.001 mm,滿足高精度加工需求。
全自動(dòng)化:配備全自動(dòng)上、下片系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)晶圓從取片到加工完成的全自動(dòng)化流程,減少人工干預(yù),提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
兼容性好:可磨削各類半導(dǎo)體材料,適應(yīng)2-12英寸晶圓減薄,滿足不同尺寸和材料的加工需求。
功能全面:具備自動(dòng)厚度測(cè)量、多段研削程序、超負(fù)載等待等功能,可根據(jù)不同工藝需求進(jìn)行靈活設(shè)置和調(diào)整。
綜上所述,全自動(dòng)單軸減薄機(jī)以其高精度、全自動(dòng)化、兼容性好、功能全面和高效能等特點(diǎn),在半導(dǎo)體制造、硅片加工、光學(xué)材料處理及薄膜材料制備等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。隨著科技的進(jìn)步和市場(chǎng)需求的增長(zhǎng),全自動(dòng)單軸減薄機(jī)將繼續(xù)保持地位,并不斷推動(dòng)相關(guān)行業(yè)的發(fā)展。
4 設(shè)備參數(shù):
項(xiàng)目 | IVG-2040 | IVG-3040 |
大晶圓尺寸 | 8英寸 | 12英寸 |
砂輪規(guī)格 | ?203(OD)mm | ?303(OD)mm |
砂輪軸功率 | 6.0kW | 9.5kW |
砂輪軸轉(zhuǎn)速范圍 | 0~6000 RPM | 0~4000 RPM |
工作臺(tái)轉(zhuǎn)速 | 0~380 RPM | 0~380 RPM |
Z軸進(jìn)給速度 | 0.1~1000 um /sec | 0.1~1000 um /sec |
厚度在線測(cè)量重復(fù)精度 | ±0.001 mm | ±0.001 mm |
厚度在線測(cè)量范圍(OMM) | 0-4800um | 0-4800um |
全自動(dòng)上下片系統(tǒng) | 有 | 有 |
NCG非接觸實(shí)時(shí)測(cè)厚系統(tǒng) | 可選配 | 可選配 |
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