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簡(jiǎn)要描述:TCO激光劃線設(shè)備ULT-1400本設(shè)備通過(guò)近紅外脈沖激光燒蝕法除去玻璃基板上成膜的透明電(TCO)膜,是一種枚用式激光劃線設(shè)備。本設(shè)備由6個(gè)IR激光法陣器和光學(xué)系統(tǒng)、Bridge式XY平臺(tái)(X軸:下軸、Y軸:上軸)、基板搬送機(jī)構(gòu)、集塵機(jī)、激光測(cè)定機(jī)構(gòu)和控制系統(tǒng)構(gòu)成。采用光纖激光和花崗巖平臺(tái),可實(shí)現(xiàn)高精度高穩(wěn)定性。
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1 產(chǎn)品概述:
TCO激光劃線設(shè)備是一種專門(mén)用于在玻璃基板上成膜的透明導(dǎo)電氧化物(TCO)膜上進(jìn)行劃線處理的激光設(shè)備。它采用近紅外脈沖激光燒蝕法,通過(guò)精確控制激光束的能量和位置,在TCO膜上形成所需的劃線圖案。該設(shè)備由多個(gè)關(guān)鍵部件組成,包括IR激光器陣列、光學(xué)系統(tǒng)、Bridge式XY平臺(tái)、基板搬送機(jī)構(gòu)、集塵機(jī)、激光測(cè)定機(jī)構(gòu)和控制系統(tǒng)等,共同實(shí)現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定性的劃線作業(yè)。
2 設(shè)備用途:
TCO激光劃線設(shè)備的主要用途包括但不限于以下幾個(gè)方面:
薄膜太陽(yáng)能電池制造:在薄膜太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)過(guò)程中,TCO層作為透明導(dǎo)電層,其上的劃線處理對(duì)于電池的性能和效率具有重要影響。TCO激光劃線設(shè)備能夠精確地在TCO層上劃線,形成電池單元之間的隔離,提高電池的轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性。
鈣鈦礦電池制造:在鈣鈦礦電池的制造過(guò)程中,TCO層同樣扮演著重要角色。TCO激光劃線設(shè)備可用于在TCO層上進(jìn)行劃線,以形成串聯(lián)結(jié)構(gòu)的子電池單元,并為后續(xù)工藝步驟(如電極蒸鍍)提供必要的通道和分隔。
其他透明導(dǎo)電膜層處理:除了TCO膜外,TCO激光劃線設(shè)備還可用于處理其他類型的透明導(dǎo)電膜層,如ITO(銦錫氧化物)等,在電子器件、光電器件等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。
3 設(shè)備特點(diǎn)
TCO激光劃線設(shè)備具有以下幾個(gè)顯著特點(diǎn):
高精度:采用光纖激光和花崗巖平臺(tái)等高精度部件,確保劃線作業(yè)的精度和穩(wěn)定性。激光束的能量和位置可精確控制,實(shí)現(xiàn)微米級(jí)別的劃線精度。
高穩(wěn)定性:設(shè)備設(shè)計(jì)有獨(dú)立的激光位置控制系統(tǒng)和激光輸出自動(dòng)測(cè)定、校準(zhǔn)功能,確保長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行的穩(wěn)定性和可靠性。
高效率:節(jié)拍時(shí)間短,能夠快速完成劃線作業(yè),提高生產(chǎn)效率。同時(shí),設(shè)備支持連續(xù)在線工作,滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需求。
多功能性:不僅適用于TCO膜的劃線處理,還可擴(kuò)展到其他透明導(dǎo)電膜層的處理領(lǐng)域,具有廣泛的應(yīng)用范圍。
4 技術(shù)參數(shù)和特點(diǎn):
•搭載6臺(tái)結(jié)合二管的IR激光器
激光由光纖傳輸,脈沖波幅可變
•簡(jiǎn)單而高穩(wěn)定性的光學(xué)系統(tǒng)
•花崗巖制XY平臺(tái)
高精度、低熱變動(dòng)
•獨(dú)立激光位置控制
全部的IR激光器獨(dú)立搭載在Y、Z軸上
•激光輸出自動(dòng)測(cè)定、校準(zhǔn)功能
•節(jié)拍時(shí)間 < 90 sec
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