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碳化硅快速熱退火系統(tǒng)

簡要描述:Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統(tǒng),加熱分區(qū)設計,具備良好的溫度均勻性。

  • 產品型號:Pallas A220
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 194

詳細介紹

1. 產品概述

Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統(tǒng),加熱分區(qū)設計,具備良好的溫度均勻性,高精度的控溫模式,更優(yōu)的升溫速率

2. 設備用途/原理

Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統(tǒng),加熱分區(qū)設計,具備良好的溫度均勻性,高精度的控溫模式更優(yōu)的升溫速率。

3. 設備特點

晶圓尺寸 6/8 英寸兼容適用工藝 快速熱退火。適用域 科研、化合物半導體。?碳化硅快速熱退火系統(tǒng)?是一種特殊的加熱設備,能夠在短時間內將碳化硅材料迅速加熱到高溫,并通過快速冷卻的方式使其達到非常高的溫度梯度。這種系統(tǒng)的主要應用領域包括CMOS器件后端制程、GaN薄膜制備、SiC材料晶體生長以及拋光后退火等。


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