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1. 產品概述
Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統(tǒng),加熱分區(qū)設計,具備良好的溫度均勻性,高精度的控溫模式,更優(yōu)的升溫速率。
2. 設備用途/原理
Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統(tǒng),加熱分區(qū)設計,具備良好的溫度均勻性,高精度的控溫模式,更優(yōu)的升溫速率。
3. 設備特點
晶圓尺寸 6/8 英寸兼容,適用工藝 快速熱退火。適用域 科研、化合物半導體。?碳化硅快速熱退火系統(tǒng)?是一種特殊的加熱設備,能夠在短時間內將碳化硅材料迅速加熱到高溫,并通過快速冷卻的方式使其達到非常高的溫度梯度。這種系統(tǒng)的主要應用領域包括CMOS器件后端制程、GaN薄膜制備、SiC材料晶體生長以及拋光后退火等。
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