1. 產(chǎn)品概述

離子注入機(jī)是高壓小型加速器中的一種，應(yīng)用數(shù)量最多。它是由離子源得到所需要的離子，經(jīng)過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導(dǎo)體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入，還用于金屬材料表面改性和制膜等。

2. 設(shè)備特點(diǎn)

單價離子大加速能量≥200keV，并增加減速系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)單價離子在5keV~200keV的能量范圍

可用于2、3、4、6、8英寸晶圓以及不規(guī)則碎片

可注入B、P、As、Al、S、H、Mg、Si離子

注入劑量精準(zhǔn)度≤1.5%

離子注入劑量范圍：1×1011 at/cm2～1×1016 at/cm2

離子源部分：離子源、離子源氣體系統(tǒng)和離子源引出系統(tǒng)

離子源系統(tǒng)搭載5套從固體蒸發(fā)源產(chǎn)生離子的Vaporizer，溫度達(dá)700℃，實(shí)現(xiàn)固態(tài)源的離子注入

離子注入傾斜角度在0°和7°

室溫臺：0°和7°；高溫臺：0°

束流調(diào)整系統(tǒng)主要包括：質(zhì)量分析器、束流匯聚系統(tǒng)、加速系統(tǒng)、掃描系統(tǒng)、束流檢測和高壓絕緣變壓器

真空系統(tǒng)主要包括：Ion Source真空系統(tǒng)、Beam Line真空系統(tǒng)、End Station真空系統(tǒng)、真空系統(tǒng)中的真空管件和閥門以及真空檢測單元

真空度：

Ion Source真空度：≤7×10-4Pa

Beam Line真空度：≤7×10-5Pa

End Station真空度：≤7×10-5Pa