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高效的緊湊型清洗裝置,為您的流程提供支持 977晶圓清洗機系統(tǒng)專為切割后工件清洗和干燥而設(shè)計,配有旋轉(zhuǎn)卡盤臺、旋轉(zhuǎn)清洗/干燥臂。臂可配置霧化清潔噴嘴或高壓噴嘴,滿足各種清潔度要求。
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