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用于SENTECH Instruments等離子系統(tǒng)的SENTECH SLI激光干涉儀端點(diǎn)監(jiān)測(cè)器與聚焦的相干激光束一起工作。激光束穿過(guò)等離子系統(tǒng)的頂部視口，并被樣品反射。反射光照射到檢測(cè)器上并測(cè)量強(qiáng)度。

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