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Epiluvac 產(chǎn)品通常作為完整的系統(tǒng)交付，包括反應(yīng)器模塊、氣體輸送系統(tǒng)、過程控制、安全系統(tǒng)、安裝和調(diào)試。每個(gè)系統(tǒng)在發(fā)貨前都經(jīng)過廣泛的測試，一旦安裝，交付還包括所有必要的客戶操作和維護(hù)培訓(xùn)。

分子束外延薄膜沉積系統(tǒng)MBE 8000旨在滿足對高性能化合物半導(dǎo)體器件日益增長的需求。這種在超高壓環(huán)境中使用超純金屬的 8×6? 或 4×8? 固源 MBE 系統(tǒng)在設(shè)計(jì)、溫度均勻性和通量均勻性方面超出了基本預(yù)期。該系統(tǒng)能夠培養(yǎng) 8 個(gè) 150 毫米（6 英寸）晶圓或 4 個(gè) 200 毫米（8 英寸）晶圓的批次，這些晶圓具有顯著的均勻性（成分、厚度）和非常低的缺陷水平。

Riber分子束外延系統(tǒng)的 multi 4“ / 6” MBE 6000 是全球每個(gè)成功的大批量商家或內(nèi)部 epi 操作的核心。它是高通量和可重復(fù)性的MBE基準(zhǔn)?；顒?dòng)時(shí)間通常超過一年，這證明了反應(yīng)堆的穩(wěn)定性和可靠性。沒有比Riber的新客戶和長期客戶重復(fù)下訂單更有力的認(rèn)可了。有許多晶圓廠配備了 2 – 8 個(gè) MBE 6000,24 / 7 并排運(yùn)行。最初，系統(tǒng)主要用于制造大量微波器件材料。

分子束外延薄膜沉積系統(tǒng)MBE49全自動(dòng)生產(chǎn)機(jī)器為材料質(zhì)量、產(chǎn)量、產(chǎn)量以及與操作和維護(hù)相關(guān)的成本設(shè)定了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。超過55個(gè)這樣的系統(tǒng)已經(jīng)在全球范圍內(nèi)交付，他們?yōu)榭蛻魩淼某晒κ乖撓盗蟹磻?yīng)器獲得了廣泛持有和當(dāng)之無愧的聲譽(yù)，因?yàn)樗剐碌幕衔锇雽?dǎo)體器件技術(shù)的商業(yè)化能夠在其他地方的范圍和規(guī)模上實(shí)現(xiàn)商業(yè)化。且有四個(gè)反應(yīng)器，專門設(shè)計(jì)用于沉積砷化物、磷化物、氮化物和氧化物。

RIBER分子束外延4 英寸中試生產(chǎn)系統(tǒng)正受到越來越多與工業(yè)合作伙伴合作開展應(yīng)用項(xiàng)目的關(guān)鍵研究機(jī)構(gòu)的關(guān)注。 這種興趣的增加部分歸因于 4 英寸（或 3 x 2 英寸）容量在這種類型的戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系中受到青睞，在這些合作伙伴關(guān)系中，成功的里程碑基于設(shè)備演示和合格的試生產(chǎn)運(yùn)行。 無論材料系統(tǒng)如何，412 都具有全自動(dòng)樣品轉(zhuǎn)移、12 個(gè)源端口的靈活性和可重復(fù)的晶圓廠質(zhì)量 ，專為實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)而設(shè)計(jì)。

RIBERMBE分子束外延系統(tǒng)Compact 21 已成為有史以來最成功的商用 3 英寸 MBE 系統(tǒng)。憑借核心 Compact 21 DNA 在所有配置（III-V、II-VI、Gp IV、氧化物、金屬、GSMBE）中都很明顯，該多功能系統(tǒng)在從基礎(chǔ)研究到設(shè)備開發(fā)和優(yōu)化的每個(gè)研究領(lǐng)域都得到了完善的服務(wù)。它最多可容納 12 個(gè)源端口，并且與電子槍兼容。這款整潔而強(qiáng)大的反應(yīng)器可提供手動(dòng)或全自動(dòng)