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Veeco 的 GEN200® MBE 系統(tǒng)是當今市場上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產(chǎn) MBE 系統(tǒng)。該系統(tǒng)在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設備的生長中提供吞吐量、長時間的加工周期和出色的晶圓質量。
Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具,其設計可針對 III-V 族和新興材料進行配置,包括需要集成電子束技術的應用。該系統(tǒng)采用生產(chǎn)設計技術,允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng),以實現(xiàn)理想的實驗室到晶圓廠遷移。
屢獲殊榮的新型 GENxcel™ 系統(tǒng)是在 GENxplor 的基礎上進行的擴展,GENxplor™ 是自 2013 年 8 月推出以來暢銷的 MBE 系統(tǒng),與 GENxplor 系統(tǒng)的 3“ 功能相比,在單個 4 英寸襯底上具有高質量的外延生長。GENxcel 系統(tǒng)具有易于使用的手動傳輸系統(tǒng)、12 個源端口集成到單框架設計中的現(xiàn)代電子設備,可實現(xiàn)最大的實驗室占地面積效率。
GEN10™ MBE 系統(tǒng)是成熟平臺中經(jīng)濟、最靈活的簇狀工具系統(tǒng),允許多達三個可配置的、特定于材料的生長模塊。這使得系統(tǒng)利用率高,允許多個研究人員同時使用該系統(tǒng),并在無人值守的情況下進行生長和校準。這與 Veeco 組件技術相結合,是 MBE 社區(qū)選擇 GEN10™ MBE 系統(tǒng)的關鍵因素,無論應用是什么。
GENxplor® R&D MBE系統(tǒng)獲得了化合物半導體制造的CSindustry獎,采用Veeco成熟的3英寸生長室設計,并具工藝靈活性,非常適合UV LED、高效太陽能電池和高溫超導體等新興技術的材料研究。其高效的單框架設計將所有真空硬件與機載電子設備相結合,使其比其他 MBE 系統(tǒng)小 40%,從而節(jié)省寶貴的實驗室空間。