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eVictor Al PVD 鋁物理氣相沉積系統(tǒng),先進(jìn)的磁控濺射系統(tǒng),有效提高薄膜均勻性及靶材利用率。
eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng),加熱基座設(shè)計(jì),具備良好的溫度均勻性,高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無累溫。