當前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 半導體前道工藝設備 > 2 PVD > SPW系列卷繞式濺射設備
簡要描述:卷繞式濺射設備SPW系列SPW系列設備,是可在塑料薄膜上進行光學膜、金屬膜等多層成膜的卷繞式設備。實施成膜室間的氣氛分隔,可以使高性能的多層膜一次性成膜。
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1 產(chǎn)品概述:
卷繞式濺射設備,也稱為卷繞磁控濺射鍍膜機,是一種在真空環(huán)境下,利用磁控濺射技術(shù)將金屬、合金、化合物或陶瓷等材料沉積到連續(xù)卷繞的柔性基材(如塑料薄膜、金屬帶等)上的先進鍍膜設備。該設備主要由濺射室、卷繞系統(tǒng)、磁控靶及電源、樣品加熱系統(tǒng)、樣品退火系統(tǒng)、泵抽系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)等組成。在濺射過程中,通過高能粒子轟擊靶材表面,使靶材原子或分子被濺射出來并沉積在基材上,形成所需的薄膜層。
2 設備用途:
卷繞式濺射設備具有廣泛的應用領(lǐng)域,主要包括但不限于以下幾個方面:
柔性電子:用于在柔性基材上鍍制各種介質(zhì)膜、導電膜等,如ITO透明導電膜,廣泛應用于柔性線路板、柔性顯示器件等領(lǐng)域。
太陽能電池:在金屬帶上鍍制光學多層膜,用于制作薄膜太陽能電池,提高光電轉(zhuǎn)換效率。
包裝與防偽:在包裝材料上鍍制防偽膜層,提高產(chǎn)品的防偽性能和美觀度。
電容器:在電容器電極上鍍制金屬薄膜,提高電容器的性能。
3 設備特點
卷繞式濺射設備具有以下幾個顯著特點:
高效連續(xù)生產(chǎn):設備采用連續(xù)卷繞的方式,實現(xiàn)了對柔性基材的連續(xù)鍍膜處理,大大提高了生產(chǎn)效率。
鍍膜質(zhì)量高:磁控濺射技術(shù)具有鍍膜溫度低、膜層厚度可控、細膩、均勻、附著牢固等優(yōu)點,能夠制備出高質(zhì)量的薄膜層。
鍍膜材料范圍廣:可適用于多種材料的鍍膜處理,包括金屬、合金、化合物和陶瓷等。
4 技術(shù)參數(shù)和特點:
可根據(jù)工藝或生產(chǎn)性選擇各種模組。
通過任意、追加選擇模組,可實現(xiàn)各種用途。
在地面高度可以進行設備操作。
優(yōu)秀的氛圍分隔性能和成膜工藝的改善,使高速率生產(chǎn)高品位的薄膜成為可能。
觸摸屏用配線膜、透明導電膜以及透明薄膜等。
FPC用電膜
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