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簡要描述:傅里葉紅外光譜儀 一、應(yīng)用:用于半導(dǎo)體材料內(nèi)部含量檢測,同質(zhì)外延厚度測量和其他應(yīng)用,用于*進(jìn)的半導(dǎo)體工廠,在硅生長和器件制造領(lǐng)域進(jìn)行材料表征二、技術(shù)參數(shù): 1.光譜范圍:遠(yuǎn)紅外、中紅外、近紅外、可見光2. 信噪比:>55000:13.光譜分辨率(cm-1):<0.09電阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm
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傅里葉紅外光譜儀(FTIR)是一種高精度的光譜分析儀器,廣泛應(yīng)用于化學(xué)、材料科學(xué)、環(huán)境監(jiān)測和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。它的工作原理基于材料對(duì)紅外輻射的吸收特性,通過分析分子振動(dòng)和旋轉(zhuǎn)模式,提供有關(guān)樣品分子結(jié)構(gòu)和成分的重要信息。與傳統(tǒng)的紅外光譜儀相比,F(xiàn)TIR具有更高的靈敏度和分辨率,使其能夠檢測和識(shí)別復(fù)雜混合物中的微量成分。
傅里葉紅外光譜儀主要用于定性和定量分析各種化合物,包括有機(jī)和無機(jī)物質(zhì)。研究人員可以利用該儀器進(jìn)行材料表征、污染檢測、藥物分析和生物樣品研究,以了解樣品的化學(xué)結(jié)構(gòu)和組成。
傅里葉紅外光譜儀通過發(fā)射紅外光束到樣品上,測量樣品對(duì)不同波長的紅外光的透過率或反射率。儀器內(nèi)部使用干涉儀將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為干涉圖譜,隨后利用傅里葉變換算法將干涉圖譜轉(zhuǎn)換為光譜數(shù)據(jù)。用戶可以分析光譜中出現(xiàn)的特征峰,識(shí)別樣品中的功能團(tuán)和化合物,從而獲得詳細(xì)的化學(xué)信息。
1. 應(yīng)用:用于半導(dǎo)體材料內(nèi)部含量檢測,同質(zhì)外延厚度測量和其他應(yīng)用,用于先進(jìn)的半導(dǎo)體工廠,在硅生長和器件制造域進(jìn)行材料表征
2. 光譜范圍:遠(yuǎn)紅外、中紅外、近紅外、可見光
3. 信噪比:>55000:1
4. 光譜分辨率(cm-1):<0.09電阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm
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