一、產(chǎn)品概述：

探針式輪廓儀（又稱臺階儀）是一種用于測量材料表面輪廓和微觀形貌的高精度儀器。它通過機(jī)械探針在樣品表面移動，獲取表面高度變化信息，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體和微電子工程等領(lǐng)域。

二、設(shè)備用途/原理：

·設(shè)備用途

探針式輪廓儀主要用于測量材料表面的粗糙度、臺階高度和形貌特征。常見應(yīng)用包括半導(dǎo)體器件的表面特性分析、薄膜厚度測量、材料缺陷檢測以及表面處理過程的監(jiān)控。這些數(shù)據(jù)對于材料的性能評估和質(zhì)量控制至關(guān)重要。

·工作原理

探針式輪廓儀的工作原理是通過細(xì)探針在樣品表面沿著預(yù)設(shè)路徑移動，測量探針與樣品表面之間的高度變化。當(dāng)探針接觸到樣品表面時，其位移會被轉(zhuǎn)換為電信號，通過數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)進(jìn)行記錄和分析。儀器通常配備高精度的位移傳感器和控制系統(tǒng)，以確保測量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。最終生成的輪廓圖可以直觀地展示材料表面的微觀特征和結(jié)構(gòu)變化。

三、主要技術(shù)指標(biāo)：

1. 測量功能：二維表面輪廓測量 /可選三維測量

2. 樣品視景：可選放大倍率，1 to 4mm FOV

3. 探針壓力：使用LIS 3 傳感器 1至15mg

4. 低作用力：使用N-Lite+低作用力傳感器: 0.03至15mg

5. 探針曲率半徑可選范圍: 50nm至25 um

6. 高徑比(HAR)針尖: 10um x 2um和200um x 20um  可按客戶要求定制針尖

7. 樣品X/Y載物臺：

8. 手動X-Y平移：100mm (4英寸）

9. 機(jī)動X-Y平移：150mm (6 英寸)

10. 樣品旋轉(zhuǎn)臺：手動，360° 旋轉(zhuǎn)    機(jī)動，360°旋轉(zhuǎn)

11. 掃描長度范圍：55mm(2英寸)

12. 每次掃描數(shù)據(jù)點：多可達(dá)120.000數(shù)據(jù)點

13. 大樣品厚度：50mm(2英寸)

14. 大晶圓尺寸：200mm(8英寸)

15. 臺階高度重現(xiàn)性：<4A，1sigma在1um臺階上

16. 垂直范圍：1mm(0.039英寸)

17. 垂直分辨率：大1A (6.55um垂直范圍下)