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SENTECH SENresearch 4.0 使用快速 FTIR 橢圓偏振法分別測(cè)量高達(dá) 2,500 nm 或 3,500 nm 的近紅外光譜。它提供最寬的光譜范圍、最佳的信噪比和最高的可選光譜分辨率??梢詼y(cè)量厚度達(dá) 200 μm 的硅膜。FTIR橢圓偏振儀的測(cè)量速度與二極管陣列配置相比,二極管陣列配置也可選擇高達(dá)1,700 nm。
SENTECH SE 500adv結(jié)合了橢圓偏振法和反射法,消除了測(cè)量透明薄膜層厚的模糊性。它將可測(cè)量的厚度擴(kuò)展到 25 μm。因此,SE 500adv 擴(kuò)展了標(biāo)準(zhǔn)激光橢偏儀 SE 400adv 的功能,特別適用于分析較厚的電介質(zhì)、有機(jī)材料、光刻膠、硅和多晶硅薄膜。
FTPadv Expert薄膜測(cè)量軟件具有FTPadv標(biāo)準(zhǔn)軟件中包含的用戶友好和以配方為導(dǎo)向的操作概念。突出顯示擬合參數(shù)、測(cè)量和計(jì)算的反射光譜以及主要結(jié)果的光學(xué)模型同時(shí)顯示在操作屏幕上。
FTPadv是一種經(jīng)濟(jì)高效的臺(tái)式光譜反射解決方案,具有快速厚度測(cè)量功能。測(cè)量時(shí)間不到 100 ms,精度低于 0.3 nm,膜厚范圍為 50 nm – 25 μm。包括一系列預(yù)定義的配方,便于光譜反射儀操作
RM 1000 和 RM 2000 光譜反射儀可測(cè)量表面光滑或粗糙的平面或彎曲樣品的反射率。使用SENTECH FTPadv Expert軟件計(jì)算單膜或?qū)盈B的厚度、消光系數(shù)和折射率。厚度分別為 2 nm 和 50 μm (RM 2000) 或 100 μm (RM 1000) 的單片、層疊和基板可以在 UV-VIS-NIR 光譜范圍內(nèi)進(jìn)行分析。