當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備 > 3 CVD
產(chǎn)品分類
Product Category相關(guān)文章
Related Articles部件鍍膜設(shè)備實(shí)現(xiàn)高大量生產(chǎn)率的高真空基礎(chǔ)In-line Sputter
薄膜沉積鍍膜系統(tǒng)Automotive Lamp Reflector是為了在汽車用HEAD LAMP部分提高AL的附著性,用Plasma,AL Sputter,CVD法實(shí)施SIO2 TOP Coating的設(shè)備,是縮短生產(chǎn)時間,前工序和最佳的MATCHING設(shè)備.
Kurt J. Lesker Company (KJLC) ALD150LE™是我們但極其靈活的原子層沉積 (ALD) 系統(tǒng),專為入門級到中級用戶而設(shè)計。該ALD150LE™配置為純熱原子層沉積,工藝室設(shè)計促進(jìn)了均勻的母離子分散和輸送。加熱和溫度控制進(jìn)一步增強(qiáng)了系統(tǒng)性能。總體而言,該ALD150LE™在緊湊的設(shè)計中提供了的靈活性和性能,而不會犧牲可維護(hù)性。
Kurt J. Lesker Company (KJLC) ALD150LX™是一種原子層沉積ALD 系統(tǒng),專為高級研發(fā) (R&D) 應(yīng)用而設(shè)計。創(chuàng)新的ALD150LX設(shè)計功能,如我們的前驅(qū)體聚焦技術(shù)™,以及我們超高純度 (UHP) 工藝能力等進(jìn)步技術(shù),提供了靈活性和性能。
Veeco 的 EPIK® 868 是 LED 業(yè)界最高性能的金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MOCVD,可實(shí)現(xiàn)出色的均勻性和可重復(fù)性,以及低缺陷率。Veeco 提供了一系列 GaN 和 As/P 金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積 (MOCVD) 系統(tǒng),提高吞吐量,同時降低包括顯示器、3D 傳感、LiDAR、微型 LED 顯示器和光學(xué)數(shù)據(jù)通信在內(nèi)的各種應(yīng)用的擁有成本。
用于 5G、光子學(xué)和 CMOS 的 Propel 300mm GaN MOCVD 系統(tǒng) 全自動單晶圓簇系統(tǒng)可在 300 毫米基板上生產(chǎn) 5G 射頻、光子學(xué)和高級 CMOS 器件。