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CIF勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速,旋涂均勻,操作簡(jiǎn)單,結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用,為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。
CIF掃描電鏡等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計(jì),清洗快速、高效、低轟擊損傷,主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/p>
CIF等離子去膠機(jī) 采用電感耦合各向同性(各個(gè)方向)等離子激發(fā)方式,適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體去膠。其外觀美學(xué)設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,漂亮大氣,優(yōu)化的腔體結(jié)構(gòu)及合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),使得處理樣品量更大,適用范圍更廣,性能更穩(wěn)定,操作更簡(jiǎn)便,性價(jià)比更高,使用成本更低,實(shí)用性更強(qiáng),更容易維護(hù)。
CIF 生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級(jí)客戶而設(shè)計(jì)的等離子體表面處理設(shè)備,配置豐富,且真空腔體里可分層,適合大多數(shù)生產(chǎn)場(chǎng)景。適用于等離子清洗,活化以及刻蝕等多種應(yīng)用,設(shè)備可在嚴(yán)苛環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行,產(chǎn)品性能穩(wěn)定,樣品處理重復(fù)性、一致性好。
1.是高潔凈度的沖洗旋干設(shè)備。主要系應(yīng)用于硅晶圓、掩模板、太陽(yáng)能電池等材料的高潔凈度沖洗旋干。設(shè)備具有單工作室、雙工作室兩種結(jié)構(gòu)。 2.產(chǎn)品類型:有立式單腔,雙腔晶圓甩干機(jī)(2-12寸),水平多工位甩干機(jī)(2-12寸) 3.單次甩干數(shù)量1-25塊 4.作業(yè)程序:沖洗、烘干的步驟順序、時(shí)間、 轉(zhuǎn)速等可分段編輯,(可設(shè) recipe 為 10 個(gè))