當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備 > 1 光刻設(shè)備 > CIF-SEM掃描電鏡等離子清洗機(jī)
簡要描述:CIF掃描電鏡等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計,清洗快速、高效、低轟擊損傷,主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/p>
產(chǎn)品分類
Product Category相關(guān)文章
Related Articles詳細(xì)介紹
掃描電鏡等離子清洗機(jī)是一款專為掃描電子顯微鏡(SEM)樣品準(zhǔn)備而設(shè)計的高效清洗設(shè)備。該機(jī)利用等離子體技術(shù),通過活性氣體的激發(fā),去除樣品表面的有機(jī)污染物和微塵,確保樣品在顯微觀察中的清潔和高質(zhì)量成像。掃描電鏡等離子清洗機(jī)具有快速、均勻的清洗效果,并能夠處理各種材料,包括金屬、陶瓷和聚合物等。其自動化控制系統(tǒng)使得操作簡單便捷,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米技術(shù)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,為研究人員提供可靠的樣品處理解決方案。
CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計,清洗快速、高效、低轟擊損傷,主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/span>
掃描電鏡等離子清洗機(jī)主要用于準(zhǔn)備掃描電子顯微鏡(SEM)樣品,去除樣品表面的有機(jī)污染物、微塵和其他雜質(zhì)。它廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米技術(shù)和生物醫(yī)學(xué)等研究領(lǐng)域,以確保樣品在顯微觀察中的清潔和高質(zhì)量成像。
該設(shè)備通過等離子體技術(shù)進(jìn)行清洗。首先,等離子清洗機(jī)將特定的氣體(如氧氣或氬氣)引入反應(yīng)室,并通過高頻電源激發(fā)氣體形成等離子體。等離子體中的活性粒子與樣品表面的污染物反應(yīng),分解并去除這些雜質(zhì)。該過程能夠快速且均勻地清洗各種材料,確保樣品表面達(dá)到所需的清潔度,從而提高掃描電子顯微鏡的成像質(zhì)量和分析準(zhǔn)確性。
產(chǎn)品型號 | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40(CF40) |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz射頻電源,射頻功率5-150W可調(diào), |
遠(yuǎn)程等離子源,自動匹配器 | |
氣體控制 | 標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(MFC)可選雙路。50毫升/分,自動控制氣體流量,不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 皮拉尼真空計,測量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面 |
電源/功率 | 220V,50/60Hz,300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮氣、氫氣發(fā)生器, 氫氣純度﹥99.999%,輸出流量0-300ml/min |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保,終身維護(hù) |
1.遠(yuǎn)程等離子清洗源
2.清洗快速、高效
3.低轟擊損傷
產(chǎn)品咨詢