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簡要描述:KS-S150星型全自動涂膠顯影機用于LED-PSS工藝的涂膠顯影制程及化合物半導(dǎo)體的涂膠顯影等制程??杉嫒菟{寶石、砷化鎵和碳化硅等材質(zhì)的晶圓,產(chǎn)品涉及多個應(yīng)用領(lǐng)域,涂膠機產(chǎn)能大于190片/小時。設(shè)備通過了CSA認證。
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1.產(chǎn)品概述:
KS-S150星型全自動涂膠顯影機是由沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司研發(fā)的勻膠顯影設(shè)備,用于LED-PSS工藝的涂膠顯影制程及化合物半導(dǎo)體的涂膠顯影等制程??杉嫒菟{寶石、砷化鎵和碳化硅等材質(zhì)的晶圓,產(chǎn)品涉及多個應(yīng)用域,涂膠機產(chǎn)能大于190片/小時。設(shè)備通過了CSA認證。
2.應(yīng)用領(lǐng)域:
傳感器芯片制造
光通信芯片制造
功率芯片制造
LED芯片制造
圖形化襯底制造
化合物半導(dǎo)體域
3.產(chǎn)品優(yōu)勢:
1.占地小、穩(wěn)定性高、操作與維護方便;
2.產(chǎn)能高,涂膠機產(chǎn)能大于190片/小時;
3.光刻膠用量小,4寸用量0.6ml;
4.優(yōu)異的流場設(shè)計,涂膠均勻性好。
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