無掩模直接成像儀光刻機

簡要描述：PG 300 DI 是一款體積圖案發(fā)生器，專為在 i 線光刻膠中直接寫入高分辨率微結(jié)構(gòu)而設(shè)計。它源自掩模制作工具，具有所有先進的 VPG 系統(tǒng)組件，能夠以最高的精度和準(zhǔn)確度進行書寫。最大寫入?yún)^(qū)域覆蓋 300 mm 晶圓。
VPG 300 DI 系統(tǒng)的目標(biāo)用途主要是學(xué)術(shù)和工業(yè)研究與開發(fā)，這些領(lǐng)域需要高靈活性和小于 2 μm 的特性。該系統(tǒng)可滿足各種應(yīng)用的需求，包括產(chǎn)品原型制作、MEMS、與其他工具的

產(chǎn)品型號：VPG 300 DI
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2024-09-05
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產(chǎn)品概述：

PG 300 DI 是一款體積圖案發(fā)生器，為在 i 線光刻膠中直接寫入高分辨率微結(jié)構(gòu)而設(shè)計。它源自掩模制作工具，具有所有先進的 VPG 系統(tǒng)組件，能夠以高的精度和準(zhǔn)確度進行書寫。大寫入?yún)^(qū)域覆蓋。

寫入模式	一	二
寫作表現(xiàn)
小特征尺寸 [μm]	0.5	0.8
小行數(shù)和間距 [μm]	0.8	1.2
地址網(wǎng)格 [nm]	4	8
邊緣粗糙度 [3σ， nm]	30	40
CD均勻度 [3σ， nm]	50	60
2鼈層對齊（全局）[nm]	100	130
寫入速度 [mm2/分鐘]	340*	1020*
*快速模式：680 和 2056 mm2/min，具有相似的性能，但沒有規(guī)格
100 x 100 mm 的曝光時間2面積 [min]	39	17

系統(tǒng)特點
光源	355 nm 的高功率 DPSS 激光器
大基板尺寸和寫入面積	300 x 300 毫米2
基板厚度	0 至 12 mm （可根據(jù)要求提供其他厚度）
大曝光面積	300 x 300 毫米2
自動對焦	實時自動對焦系統(tǒng)（光學(xué)和氣動）
自動對焦補償范圍	高達 80 μm
流量箱	（閉環(huán)）溫控環(huán)境試驗箱
對準(zhǔn)和計量	用于測量和對準(zhǔn)的相機系統(tǒng)和軟件包
其他功能和選項	100、150、200 和 300 mm 晶圓的全自動處理和預(yù)對準(zhǔn)。光學(xué)邊緣檢測、頂部對準(zhǔn)以及可選的紅外和背面對準(zhǔn)。Zerodur® 載物臺和高分辨率差分干涉儀
系統(tǒng)尺寸
	系統(tǒng) / 電子機架
寬度 [mm]	2605 / 800
深度 [mm]	1652 / 650
高度 [mm]	2102 / 1800
重量 [kg]	3550 / 180
安裝要求
電氣	400 VAC ± 5 %， 50/60 Hz， 16 A， 3 相
壓縮空氣	6 - 10 巴