當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備 > 1 光刻設(shè)備 > AC200-PE充氮型程控烤膠機(jī)
簡(jiǎn)要描述:充氮型程控烤膠機(jī) 產(chǎn)品性能:1.充氮烤膠機(jī)是在普通基礎(chǔ)上增加密封蓋和氮?dú)庾⑷肟冢WC氮?dú)饩鶆蛲ㄈ肟灸z機(jī)內(nèi)部形成惰性氣體保護(hù)氣氛。2.充氮烤膠機(jī)最高溫度可達(dá)到300℃,可實(shí)現(xiàn)控溫在±0.2℃以內(nèi),溫度分辨率在0.1℃,表面溫度均勻性小于1%的精確控溫
產(chǎn)品分類
Product Category相關(guān)文章
Related Articles詳細(xì)介紹
1.產(chǎn)品概述:
AC200-PE充氮型程控烤膠機(jī)是一款門(mén)設(shè)計(jì)的烤膠設(shè)備,主要適用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、鍍膜、薄膜、光學(xué)及表面涂覆工藝等域。以下是對(duì)該設(shè)備的詳細(xì)介紹:
2.產(chǎn)品特點(diǎn):
充氮保護(hù):在普通烤膠機(jī)的基礎(chǔ)上增加了密封蓋和氮?dú)庾⑷肟?,確保氮?dú)饽軌蚓鶆蛲ㄈ肟灸z機(jī)內(nèi)部,形成惰性氣體保護(hù)氣氛,有效防止烤膠過(guò)程中的氧化反應(yīng),保護(hù)基片表面質(zhì)量。
高精度控溫:采用高精度數(shù)顯溫控表控制,升溫速率可控,可編輯多段溫度曲線,確??灸z溫度的精確控制。
優(yōu)良的熱均勻性:設(shè)備內(nèi)部設(shè)計(jì)合理,能夠確保加熱板面的溫度均勻性,保證烤膠效果的一致性。
安全性高:設(shè)備四周裝有防燙護(hù)欄,降低事故發(fā)生率;同時(shí),加熱輸出獨(dú)立電路控制,提高了設(shè)備使用安全。
可視化操作:設(shè)備蓋子帶可視窗,實(shí)驗(yàn)過(guò)程可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)產(chǎn)品變化,便于操作人員掌握烤膠進(jìn)程。
3.技術(shù)參數(shù):
型號(hào):AC200-PE
控溫范圍:可根據(jù)具體需求定制,如室溫250℃、室溫300℃、500℃、600℃、800℃等。
加熱面板尺寸:適合大8"圓晶,加熱面板尺寸可能因型號(hào)而異,具體以實(shí)際產(chǎn)品為準(zhǔn)。
控溫方式:自適應(yīng)PID控制,確保溫度控制的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。
溫度分辨率:0.1℃
控溫精度:±0.2℃
溫度均勻性:≤±1%(板面9點(diǎn)或12點(diǎn)溫度差)
真空度:可根據(jù)配置不同達(dá)到不同的真空度,如普通機(jī)械泵可達(dá)到10-1Pa,分子泵可達(dá)到10-3Pa。
電源輸入:AC220V,具體電流需求根據(jù)設(shè)備功率而定。
加熱功率:根據(jù)設(shè)備型號(hào)和配置不同而有所差異。
4.應(yīng)用域:
AC200-PE充氮型程控烤膠機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片/晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃、生物薄膜、制版等工藝加熱過(guò)程中,特別適用于需要惰性氣體保護(hù)環(huán)境的烤膠工藝。
5.操作注意事項(xiàng):
在使用,應(yīng)仔細(xì)閱讀設(shè)備說(shuō)明書(shū),了解設(shè)備性能、操作規(guī)程及安全注意事項(xiàng)。
操作過(guò)程中,應(yīng)嚴(yán)格按照設(shè)備操作規(guī)程進(jìn)行,避免誤操作導(dǎo)致設(shè)備損壞或安全事故。
設(shè)備在使用過(guò)程中,應(yīng)定期進(jìn)行檢查和維護(hù),確保設(shè)備處于良好狀態(tài)。
在進(jìn)行烤膠工藝時(shí),應(yīng)根據(jù)具體工藝要求選擇合適的溫度、時(shí)間和氮?dú)饬髁康葏?shù)。
產(chǎn)品咨詢