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TAP-400/600/450A/500精密研磨拋光機系列設(shè)備是兩軸高精密單面拋光設(shè)備，拋光頭可自轉(zhuǎn)、可擺動，可實現(xiàn)高壓力、高轉(zhuǎn)速拋光，可以單片拋光，也可以多片拋光，滿足各種材料的高精密拋光要求。

單面拋光機是一款操作簡單，兼容性強，搭配不同盤配合相應(yīng)的液可實現(xiàn)多種半導(dǎo)體材料高精度拋光設(shè)備，拋光盤可定制，根據(jù)量產(chǎn)要求多種規(guī)格可選。

TSP-400/450/380晶片研磨機系列設(shè)備是落地式的高精度單面拋光設(shè)備，可搭配銅盤、錫盤、玻璃盤、不銹鋼盤等，配合不同類型的拋光液，適用于各種半導(dǎo)體材料的高精密拋光。

雙面拋光機分為雙面機械拋光和雙面化學(xué)拋光兩種，分別代表雙面拋光的粗加工和精加工。主要用于晶片的表面拋光，操作簡單，搭配不同的夾具，拋光墊，拋光液可以實現(xiàn)不同材料，不同尺寸，不同厚度的晶片拋光。

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深能級瞬態(tài)譜儀(DLTS) 技術(shù)優(yōu)勢： 1. 數(shù)字瞬態(tài)記錄器最大采樣 64000點 2. 數(shù)字瞬態(tài)記錄器采樣間隔 2us-4s 3. 耦合方式 提供28種耦合方式,包括Boxcar和Lock-in方式.一次變溫即可得到28組曲線和數(shù)據(jù)點 4.單個溫度點測試參數(shù)序列 單溫度點設(shè)置18種測試參數(shù)序列,無需重復(fù)變溫即可得到不同測試參數(shù)