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GEN10™ MBE 系統(tǒng)是成熟平臺(tái)中經(jīng)濟(jì)、最靈活的簇狀工具系統(tǒng),允許多達(dá)三個(gè)可配置的、特定于材料的生長(zhǎng)模塊。這使得系統(tǒng)利用率高,允許多個(gè)研究人員同時(shí)使用該系統(tǒng),并在無(wú)人值守的情況下進(jìn)行生長(zhǎng)和校準(zhǔn)。這與 Veeco 組件技術(shù)相結(jié)合,是 MBE 社區(qū)選擇 GEN10™ MBE 系統(tǒng)的關(guān)鍵因素,無(wú)論應(yīng)用是什么。
GENxplor® R&D MBE系統(tǒng)獲得了化合物半導(dǎo)體制造的CSindustry獎(jiǎng),采用Veeco成熟的3英寸生長(zhǎng)室設(shè)計(jì),并具工藝靈活性,非常適合UV LED、高效太陽(yáng)能電池和高溫超導(dǎo)體等新興技術(shù)的材料研究。其高效的單框架設(shè)計(jì)將所有真空硬件與機(jī)載電子設(shè)備相結(jié)合,使其比其他 MBE 系統(tǒng)小 40%,從而節(jié)省寶貴的實(shí)驗(yàn)室空間。
Laurell的WS-1000MH系列微型濕法勻膠工作臺(tái)適用于更狹小的空間和較小的預(yù)算。這個(gè)簡(jiǎn)單的工作站被提煉出真正的濕式工作站必須具備的精髓,以實(shí)現(xiàn)最大的經(jīng)濟(jì)性。
Laurell的WS-1000系列濕法勻膠工作臺(tái)的配置和測(cè)試模塊建造和運(yùn)輸安裝時(shí)間短。易于裝載和操作,所有物品都讓操作員方便地觸及。
Laurell的EDC-650-15B型勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊,具有先進(jìn)的功能。這款650系列EDC系統(tǒng)將可容納高達(dá)300mm的晶圓和9英寸×9英寸(229mm×229mm)基板。雖然這個(gè)系統(tǒng)有12,000RPM的能力帶真空壓緊裝置,建議僅用于3,000RPM和非真空吸盤(pán)。