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Laurell的WS-650-15B型勻膠機結構緊湊,具有先進的功能。這款650系列系統(tǒng)將可容納高達300mm的晶圓和9英寸×9英寸(229mm×229mm)基板,最大轉速為12,000RPM(基于100mm硅片)。
laurell的WS-650-8 B 型勻膠機結構緊湊,具有先進的功能。這款650系列涂布機系統(tǒng) 將 可容納最大200mm晶圓和 7英寸×7英寸 (178mm×178mm)基板,最大轉速為12,000 RPM(基于100mm硅片)。