當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 二手翻新設(shè)備 > 1 光刻機(jī)
產(chǎn)品分類
Product Category相關(guān)文章
Related ArticlesNikon NSR 2005i8A 1、Nikon NSR 2005i8A步進(jìn)式光刻機(jī) 光源波長365nm 分辨率優(yōu)于0.5µm 主要用于2寸、4寸、6寸、8寸生產(chǎn)線 廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域 2、產(chǎn)品詳情 主要技術(shù)指標(biāo) 分辨率0.5µm N.A.0.6 曝光光源365nm 倍率5:1 最大曝光現(xiàn)場20mm*20mm 對準(zhǔn)精度LSA:120nm FIA:130nm
1、Nikon NSR 1755/1505i7A/B步進(jìn)式光刻機(jī) 光源波長365nm 分辨率優(yōu)于0.6µm 主要用于2寸、4寸、6寸生產(chǎn)線 廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域 2、產(chǎn)品詳情 主要技術(shù)指標(biāo) 分辨率0.6µm N.A.0.6 曝光光源365nm 倍率5:1 最大曝光現(xiàn)場15mm*15mm 17.5mm*17.5mm 對準(zhǔn)精度140nm
Nikon NSR G線光刻機(jī) 1、Nikon NSR G線步進(jìn)式光刻機(jī) 光源波長436nm 分辨率優(yōu)于0.65µm 主要用于2寸、4寸、6寸生產(chǎn)線 廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域 2、產(chǎn)品詳情 主要技術(shù)指標(biāo) 分辨率0.65µm N.A.0.6 曝光光源436nm 倍率5:1 最大曝光現(xiàn)場15mm*15mm 17.5mm*17.5mm 對準(zhǔn)精度140nm