簡要描述:Kurt J. Lesker Company® NANO 36™ 熱蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)是我們優(yōu)化的入門級沉積系統(tǒng)。我們的腔室設計特別適合手套箱集成。NANO 36 具有更高的功能和更小的占地面積,提供了實惠的價格點,同時保持了您期望從 KJLC 獲得的質量。
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Kurt J. Lesker Company® NANO 36™ 是我們優(yōu)化的入門級沉積系統(tǒng)。我們的腔室設計特別適合手套箱集成。NANO 36 具有更高的功能和更小的占地面積,提供了實惠的價格點,同時保持了您期望從 KJLC 獲得的質量。
NANO 36 與以下沉積技術兼容:
熱蒸發(fā)(最多四個 2 英寸船組件)。
Torus® 磁控濺射源(最多三個 2“ 或 3" 源)。
1cc 或 10cc LTE 有機沉積源(最多四個)。
兩個熱源和兩個 LTE 源的組合。
可根據要求提供定制配置。
KJLC的軟件允許用戶友好的配方創(chuàng)建,以及一個可靠、不間斷的處理模塊,無論計算機用戶界面的狀態(tài)如何,都可以完成過程。有關此直觀、且可靠的軟件包的更多信息,請參閱“軟件"選項卡。
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