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簡要描述:適用于光電應用的 Lumina AS/P 金屬有機物化學氣相沉積 (MOCVD) 系統(tǒng)
產(chǎn)品分類
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1.產(chǎn)品概述:
Lumina® 系統(tǒng)基于 Veeco 業(yè)界的金屬有機物化學氣相沉積 (MOCVD) TurboDisc® 技術(shù),在長時間的生產(chǎn)過程中,其具有均勻性和低缺陷率,帶來出色的產(chǎn)量和靈活性。此外,Veeco 的有技術(shù)也提供均勻的熱控制,可實現(xiàn)的厚度和組合均勻性。該系統(tǒng)提供無縫晶片尺寸過渡,能夠在直徑達 8 英寸的晶片上沉積高質(zhì)量 As/P 外延層。Lumina 系統(tǒng)允許用戶自定義系統(tǒng)以實現(xiàn)大價值。
2.產(chǎn)品應用:
VCSEL
3D 傳感
LiDAR
高速數(shù)據(jù)通信
邊緣發(fā)射激光器
先進的光學通信
硅光電
迷你和微型 LED
4K 和 8K 電視顯示屏
智能手機
可穿戴設備
AR/VR(增強現(xiàn)實/虛擬現(xiàn)實)
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