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當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備  >  1 光刻設(shè)備  >  7234劃片機(jī)

劃片機(jī)

簡(jiǎn)要描述:7234劃片機(jī)是一款高精度的半導(dǎo)體切割設(shè)備,主要用于晶圓或其他材料的切割加工。它配備了4英寸的空氣軸承主軸,采用直流無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng),轉(zhuǎn)速高達(dá)30krpm,能夠兼容4-5英寸的刀片。該設(shè)備能夠覆蓋最大直徑為300毫米或253mmX243mm的方形產(chǎn)品,具有高效、精確的切割能力

  • 產(chǎn)品型號(hào):7234
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-09-04
  • 訪  問(wèn)  量: 123

詳細(xì)介紹

1.產(chǎn)品概述:

7234劃片機(jī)是一款高精度的半導(dǎo)體切割設(shè)備,主要用于晶圓或其他材料的切割加工。它配備了4英寸的空氣軸承主軸,采用直流無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng),轉(zhuǎn)速高達(dá)30krpm,能夠兼容4-5英寸的刀片。該設(shè)備能夠覆蓋大直徑為300毫米或253mmX243mm的方形產(chǎn)品,具有高效、精確的切割能力。

2.產(chǎn)品原理

ADT 7234劃片機(jī)的工作原理通常是通過(guò)空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn),將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行切割或開(kāi)槽。這種切割方式結(jié)合了水氣電、精密機(jī)械傳動(dòng)、傳感器及自動(dòng)化控制等多種技術(shù),確保切割過(guò)程的高精度和穩(wěn)定性。

3.產(chǎn)品工藝

 4",空氣軸承主軸,直流無(wú)刷,轉(zhuǎn)速高達(dá)30krpm。

兼容 4"-5" 刀片。覆蓋大8"的圓形晶圓或253mmX 243mm方形產(chǎn)品。

工件尺寸:大∅300 mm或253mmX 243mm方形產(chǎn)品

刀片尺寸:4"-5"

主軸:空氣軸承,直流無(wú)刷,30 krpm/2.5 kW

分度軸(Y)

驅(qū)動(dòng)裝置:滾珠軸承絲桿,配步進(jìn)電機(jī)

控制:線性編碼器

分辨率:0.1 µm

累積精度 (∅300): 3µm

分度精度:1.0 µm

傳送軸(X)

驅(qū)動(dòng)裝置:滾珠軸承絲桿,配直流無(wú)刷電機(jī)

傳送速度:高達(dá) 600 mm/sec

切割深度軸(z)

驅(qū)動(dòng)裝置:滾珠軸承絲桿,配直流無(wú)刷電機(jī)

分辨率:0.2 µm

重復(fù)精度:1.0 µm

旋轉(zhuǎn)軸 (θ)

驅(qū)動(dòng):閉環(huán)、直接驅(qū)動(dòng)、直流無(wú)刷

分辨率:4 arc-sec

行程:350度

視覺(jué)系統(tǒng)

數(shù)字?jǐn)z像頭

高亮LED照明(直射和斜射)

持續(xù)數(shù)字變焦:x 70 - x 280 或 50 - x 200(可選)

清洗臺(tái)

沖洗和干燥循環(huán)

旋轉(zhuǎn)速度:100-2,000 RPM

清洗方法:二流體/霧化功能

晶圓處理系統(tǒng)

插槽至插槽完整性和檢抽屜

可選件

BBD(破刀探測(cè)器)

紫外線固化

ESD(防靜電)套件

條形碼讀取器

磨刀臺(tái)

360°旋轉(zhuǎn)臺(tái)

SECS-GEM 主機(jī)通信

用戶界面

17" 平面觸摸屏

新用戶界面(NUI)

多語(yǔ)言支持

鍵盤與鼠標(biāo)

設(shè)施

電氣:200-240VAC,50/60Hz,單相

氣源/N2:700 L/分 @ 5.5 bar

500 L/min 壓縮空氣,200 L/min 制程氣體/N2

主軸冷卻水:1.1 L/min

切割用水(去離子水/廠務(wù)端用水):刀片/過(guò)程冷卻水:高7L/min

尺寸(WXDXH):

1,100 x 1,785 x 1,700 mm

重量:1,350 kg




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