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簡(jiǎn)要描述:7234劃片機(jī)是一款高精度的半導(dǎo)體切割設(shè)備,主要用于晶圓或其他材料的切割加工。它配備了4英寸的空氣軸承主軸,采用直流無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng),轉(zhuǎn)速高達(dá)30krpm,能夠兼容4-5英寸的刀片。該設(shè)備能夠覆蓋最大直徑為300毫米或253mmX243mm的方形產(chǎn)品,具有高效、精確的切割能力
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1.產(chǎn)品概述:
7234劃片機(jī)是一款高精度的半導(dǎo)體切割設(shè)備,主要用于晶圓或其他材料的切割加工。它配備了4英寸的空氣軸承主軸,采用直流無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng),轉(zhuǎn)速高達(dá)30krpm,能夠兼容4-5英寸的刀片。該設(shè)備能夠覆蓋大直徑為300毫米或253mmX243mm的方形產(chǎn)品,具有高效、精確的切割能力。
2.產(chǎn)品原理:
ADT 7234劃片機(jī)的工作原理通常是通過(guò)空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn),將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行切割或開(kāi)槽。這種切割方式結(jié)合了水氣電、精密機(jī)械傳動(dòng)、傳感器及自動(dòng)化控制等多種技術(shù),確保切割過(guò)程的高精度和穩(wěn)定性。
3.產(chǎn)品工藝:
4",空氣軸承主軸,直流無(wú)刷,轉(zhuǎn)速高達(dá)30krpm。
兼容 4"-5" 刀片。覆蓋大8"的圓形晶圓或253mmX 243mm方形產(chǎn)品。
工件尺寸:大∅300 mm或253mmX 243mm方形產(chǎn)品
刀片尺寸:4"-5"
主軸:空氣軸承,直流無(wú)刷,30 krpm/2.5 kW
分度軸(Y)
驅(qū)動(dòng)裝置:滾珠軸承絲桿,配步進(jìn)電機(jī)
控制:線性編碼器
分辨率:0.1 µm
累積精度 (∅300): 3µm
分度精度:1.0 µm
傳送軸(X)
驅(qū)動(dòng)裝置:滾珠軸承絲桿,配直流無(wú)刷電機(jī)
傳送速度:高達(dá) 600 mm/sec
切割深度軸(z)
驅(qū)動(dòng)裝置:滾珠軸承絲桿,配直流無(wú)刷電機(jī)
分辨率:0.2 µm
重復(fù)精度:1.0 µm
旋轉(zhuǎn)軸 (θ)
驅(qū)動(dòng):閉環(huán)、直接驅(qū)動(dòng)、直流無(wú)刷
分辨率:4 arc-sec
行程:350度
視覺(jué)系統(tǒng)
數(shù)字?jǐn)z像頭
高亮LED照明(直射和斜射)
持續(xù)數(shù)字變焦:x 70 - x 280 或 50 - x 200(可選)
清洗臺(tái)
沖洗和干燥循環(huán)
旋轉(zhuǎn)速度:100-2,000 RPM
清洗方法:二流體/霧化功能
晶圓處理系統(tǒng)
插槽至插槽完整性和檢抽屜
可選件
BBD(破刀探測(cè)器)
紫外線固化
ESD(防靜電)套件
條形碼讀取器
磨刀臺(tái)
360°旋轉(zhuǎn)臺(tái)
SECS-GEM 主機(jī)通信
用戶界面
17" 平面觸摸屏
新用戶界面(NUI)
多語(yǔ)言支持
鍵盤與鼠標(biāo)
設(shè)施
電氣:200-240VAC,50/60Hz,單相
氣源/N2:700 L/分 @ 5.5 bar
500 L/min 壓縮空氣,200 L/min 制程氣體/N2
主軸冷卻水:1.1 L/min
切割用水(去離子水/廠務(wù)端用水):刀片/過(guò)程冷卻水:高7L/min
尺寸(WXDXH):
1,100 x 1,785 x 1,700 mm
重量:1,350 kg
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