1.產(chǎn)品特點(diǎn)

設(shè)備小巧：PT500真空等離子清洗機(jī)設(shè)計(jì)緊湊，適合在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中使用，便于操作和存放。

真空腔容量大：雖然設(shè)備小巧，但其真空腔容量足夠大，可以滿足小批量樣品的處理需求。

無高溫清洗：清洗過程不會(huì)產(chǎn)生高溫，避免了產(chǎn)品因熱變形而導(dǎo)致的質(zhì)量問題。

廣泛適用性：可以處理各種各樣的材質(zhì)，如金屬、半導(dǎo)體、氧化物或高分子材料等，應(yīng)用廣泛。

一鍵式操控：設(shè)備操作簡(jiǎn)便，一鍵式操控，提高了工作效率。

無環(huán)境污染：清洗過程中無化學(xué)品消耗，機(jī)臺(tái)本身不產(chǎn)生污染物，符合環(huán)保要求。

2.技術(shù)參數(shù)

參數(shù)名稱：參數(shù)值

腔體材質(zhì)；鋁合金

供電電源：AC220V

射頻電源功率：0-500W可調(diào)

射頻頻率：25KHz

真空度：≤100Pa

氣體路數(shù)：單路

氣體流量：0.1-1l/min（可調(diào)）

清洗時(shí)間：0—999連續(xù)可調(diào)

內(nèi)腔尺寸：147mm*145mm（可定制更大尺寸）

外形尺寸：452mm380mm225mm（注意：不同來源信息中高度可能略有差異）

重量≈18KG

包裝方式：紙箱包裝

3.應(yīng)用域

PT500真空等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、光電、航空航天等行業(yè)的制造和實(shí)驗(yàn)研究等域。它是目表面處理工藝的重要設(shè)備之一，能夠有效地去除樣品表面的污染物和氧化物，提高樣品的表面質(zhì)量和性能。