1. 產(chǎn)品概述：

Tebaank® Pishow® P 硅刻蝕設(shè)備是面向8英寸集成電路制造的量產(chǎn)型設(shè)備設(shè)備由電感耦合等離子體刻蝕腔（ICP etch chamber）以及傳輸模塊（transfer module）構(gòu)成

適用于0.11微米及其它技術(shù)代的多晶硅柵（poly gate）、側(cè)墻（spacer）、淺溝槽隔離（STI）工藝

2. 工藝數(shù)據(jù)

3 μm Trench

0.4 μm Trench

0.25 μm Trench

2 μm Poly

0.18 μm Poly

3. 詳細(xì)介紹

Tebaank®  Pishow® P 硅刻蝕設(shè)備，為8英寸IC產(chǎn)線上柵工藝的多腔式量產(chǎn)型設(shè)備，擁有自主開發(fā)的優(yōu)化設(shè)計， 保證了優(yōu)異的刻蝕均勻性（片內(nèi)<5%，片間<5%）和顆粒控制。提供AA、gate、STI、spacer、W recess等各項(xiàng)工藝的刻蝕解決方案。該設(shè)備高性價比的解決方案和優(yōu)秀的空間利用率，可為客戶產(chǎn)能升提供幫助。