1. 產(chǎn)品概述

KS-C300涂膠顯影機是一款高效能的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于封裝、MEMS（微電機械系統(tǒng)）、OLED（有機發(fā)光二極管）等領(lǐng)域的涂覆和顯影制程。該設(shè)備的設(shè)計理念強調(diào)高產(chǎn)能與靈活性，每小時可以加工高達(dá)180片晶圓，極大地提高了生產(chǎn)效率。這一特性對于滿足快速變動的市場需求，尤其是在高科技產(chǎn)業(yè)中無疑具有重要意義。

KS-C300不僅具備處理能力，還有出色的兼容性，能夠適應(yīng)不同材質(zhì)的晶圓，包括硅晶片、玻璃片、鍵合片以及各種化合物材料。這樣的多樣化選擇使得設(shè)備能夠被廣泛應(yīng)用于多種芯片制造領(lǐng)域，包括邏輯類和存儲類芯片、攝像頭芯片以及功率器件芯片等。

此外，KS-C300的國產(chǎn)化集成電路設(shè)備的成功應(yīng)用，為客戶提供了一個顯著的成本優(yōu)勢。通過國產(chǎn)設(shè)備的引入，客戶不僅能夠節(jié)省大量的采購及維護(hù)成本，還能加快設(shè)備的調(diào)試與服務(wù)響應(yīng)，縮短產(chǎn)品上市時間。這一系列優(yōu)點使得KS-C300在行業(yè)內(nèi)受到廣泛認(rèn)可與青睞。

該設(shè)備還通過了嚴(yán)格的SEMI S2認(rèn)證，進(jìn)一步證明了其在安全性、可靠性及高性能等方面的表現(xiàn)。SEMI S2認(rèn)證是半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的重要標(biāo)準(zhǔn)，確保設(shè)備在生產(chǎn)過程中符合國際安全及環(huán)境保護(hù)要求，為客戶提供了額外的信心。總體來看，KS-C300涂膠顯影機憑借其高效的生產(chǎn)能力、多樣化的兼容性以及可靠的安全標(biāo)準(zhǔn)，成為先進(jìn)半導(dǎo)體制造工藝中的設(shè)備之一。

2. 產(chǎn)品優(yōu)勢：

適合超薄晶圓處理，超厚膠涂敷、顯影、烘焙工藝
涂膠單元特殊設(shè)計，避免高黏度膠離心涂敷時產(chǎn)生的“棉花糖"現(xiàn)象
機臺為全封閉模塊化結(jié)構(gòu)，工藝單元靈活選配
占地面積小，產(chǎn)能高

工藝上可實現(xiàn)5mm以下晶圓翹曲片的傳送加工，熱板采用漸進(jìn)式烘焙
可滿足工廠自動化需求，無人值守

3. 應(yīng)用域：

封裝
MEMS
OLED