當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備 > 2 PVD > PC450高真空磁控濺射粉末顆粒表面薄膜沉積系統(tǒng)
簡要描述:高真空磁控濺射粉末顆粒表面薄膜沉積系統(tǒng)可以在粉末顆粒狀樣品表面鍍制金屬膜、磁性膜、絕緣膜等,采用行業(yè)的軟件控制系統(tǒng)。可廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的粉末樣品表面鍍制薄膜材料的科研項目。
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1.產(chǎn)品概述:
高真空磁控濺射粉末顆粒表面薄膜沉積系統(tǒng)可以在粉末顆粒狀樣品表面鍍制金屬膜、磁性膜、絕緣膜等,采用行業(yè)的軟件控制系統(tǒng)。
2.設(shè)備用途:
可廣泛應(yīng)用于大院校、科研院所的粉末樣品表面鍍制薄膜材料的科研項目。
3.真空室結(jié)構(gòu):
圓筒形側(cè)開門,通常采用不銹鋼材質(zhì)制造,具備良好的密封性能
真空室尺寸:Ф450x550mm
限真空度:≤8.0E-5Pa
沉積源:永磁靶2套,φ3英寸
樣品尺寸,溫度:小型粉末顆粒狀樣品
占地面積(長x寬x高):約1米x1.8米x2米
電控描述:全自動設(shè)備電控系統(tǒng)和控制系統(tǒng):采用計算機控制,具有液晶顯示屏、鼠標(biāo)鍵盤操作界面,支持自動控制和手動控制兩種方式,操作簡便,并可實現(xiàn)真空系統(tǒng)及工藝過程的全自動化操作。
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