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簡(jiǎn)要描述:NMC 612G 12英寸金屬刻蝕機(jī),可用于鋁、硅,氧化物、鉬、氧化銦錫等多種材料刻蝕。
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1. 產(chǎn)品概述
NMC 612G 12英寸金屬刻蝕機(jī),可用于鋁、硅,氧化物、鉬、氧化銦錫等多種材料刻蝕。
2. 設(shè)備用途/原理
NMC 612G 12英寸金屬刻蝕機(jī),可用于鋁、硅,氧化物、鉬、氧化銦錫等多種材料刻蝕,高性能靜電卡盤(pán),可用于 Si wafer 及玻璃片穩(wěn)定吸附,設(shè)備提供多種均勻性調(diào)節(jié)手段。本土化服務(wù)及定制化軟件配置能力。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶圓尺寸 12英寸,適用材料 鋁、硅、氧化物、鉬、氧化銦錫,適用工藝 鋁線、鋁墊、硅、介質(zhì)刻蝕、鋁 / 鉬 /ITO 等金屬刻蝕,適用域 新興應(yīng)用、集成電路。百科:?半導(dǎo)體金屬刻蝕機(jī)的原理?主要涉及到濕法刻蝕和干法刻蝕兩種技術(shù)。這兩種技術(shù)都是半導(dǎo)體制造工藝中非常重要的步驟,用于有選擇地從硅片表面去除不需要的材料,以達(dá)到在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩模圖形的目的。
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