當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備 > 4 外延系統(tǒng) > customized刻蝕機(jī)終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)
簡(jiǎn)要描述:刻蝕機(jī)終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng) 檢測(cè)原理:通過(guò)特定波長(zhǎng)譜線的強(qiáng)度變化來(lái)反映是否達(dá)到刻蝕終點(diǎn)。
產(chǎn)品分類
Product Category相關(guān)文章
Related Articles詳細(xì)介紹
刻蝕機(jī)終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng) 產(chǎn)品介紹:
◆刻蝕機(jī)終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng) 問(wèn)題解決方案-軟件ideaEPD
主要特點(diǎn):
1.實(shí)時(shí)顯示全譜與至少6個(gè)峰的時(shí)序譜。
2.在時(shí)序譜上實(shí)時(shí)顯示各種事件的縱線標(biāo)記,包含啟輝 信號(hào)、預(yù)延遲、終點(diǎn)信號(hào)等。
3.配置文件管理界面提供強(qiáng)大與靈活的終點(diǎn)判斷算法, 增加了用戶的可操作性,準(zhǔn)確找到刻蝕終點(diǎn)。
4.包含本地與遠(yuǎn)程模式,下位機(jī)在遠(yuǎn)程模式下由上位機(jī) 控制,并可在檢測(cè)到終點(diǎn)后實(shí)時(shí)向上位機(jī)發(fā)送信號(hào)。
5.歷史數(shù)據(jù)可以批量查看,并且可以用新的配置文件再 處理,以便用戶尋找更合適終點(diǎn)算法。
6.可以查看歷史數(shù)據(jù)中不同波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的時(shí)序圖,以便找到適合終點(diǎn)判斷的譜線,方便用戶探索新工藝。
產(chǎn)品咨詢